石墨烯中表面形貌检测方案(扫描电镜)

PHENOM(CHINA 上海 浦东新区 张江高科技园区 科苑路88号 德国中心E座501-503室 案例 利用飞纳台式扫描电镜促进材料行业发展 Peter Guercio 石墨烯加工服务及创新责任公司总裁 石墨烯加工服务及创新责任公司(GMSI)为半导体和 LED 工业提供产品和支持，在公司内部， Peter Guercio 和同事都不是显微镜专家，但在日常的先进材料研究和研发中，他们能够熟练使用飞纳 Pro X扫描电镜(SEM)。配置有能谱的飞纳电镜 ProX 对工艺和产品的质量控制十分有益，与以前相比，实时获取结合元素分析能力使数据的采集速度提高8倍，在近期产品提升方面发挥了重要的作用。 GMSI 石墨烯加工服务和创新责任公司是石墨烯和碳素制品的工业制造和加工的领导者，虽然他们的特长是石墨加工，他们也为客户提供一系列广泛的制造服务，例如塑料、复合材料、金属和一系列特殊材料的加工。 Peter Guercio ： No other tool can do what Phenom SEM dose! 1991年以来，石墨加工服务及创新责任公司(GMSI)一直是顶端芯片、内存制造和先进半导体工业的重要供应商。 从外包到内包 数年前， GMSI 外包所有的扫面电镜工作，将样品送到外面检测和等待结 PhenomChina.复纳科学仪器(上海)有限公司-飞纳中国 ( 上海 浦东新区 张江高科技园区 科苑路88号 德国中心E座501-503室 ) ( 热线 400-857-8882 www.phenom-china.comservice@phenom-china.com ) 果的过程浪费了大量的时间和资源。大约4年前， GMSI员工可以在公司内部利用飞纳 G1 扫描电镜完成相应工作，不用再为等待数据而浪费时间，从而提高工作效率。 GMSI 利用化学气相沉积法在碳化硅膜上合成石墨，提供给半导体和 LED工业用户。在日常工作中，飞纳扫描电镜可以评估工艺和产品质量。 使用飞纳扫描电镜的优势 在工作现场拥有一台飞纳扫描电镜可以节约大量时间，可以测量膜的厚度和表面形貌等工艺参数。飞纳台式扫描电镜能立即将氮化硅在石墨中的扩散和表面晶体机构反馈出来。 对 GMSI来说，，飞纳台式扫描电镜好有一个好处，那就是整合相机使电镜具有联合显微镜能力，光学导航和电镜拍照同步来显示缺陷的位置，从而快速的找到感兴趣的特殊区域。 升级加速研发 GMSI 将 GI 升级为配置有能谱的飞纳 Pro X，更高的放大倍数为工艺每一步提供图片数据。能谱的元素分析显示膜的元素成分，帮助 GMSI 设置沉积参数来获得最佳化学计量。 最近， GMSI 产品发布速度是以前的八倍，这主要得益于配置有能谱的飞纳台式扫描电镜，从而可以实时获取数据和元素分析。Peter 补充说：“如果没 有飞纳台式扫描电镜 ProX，我们也不能发展我划最新的改进工艺"。 PhenomChina·复纳科学仪器(上海)有限公司-飞纳中国 ( 上海 浦东新区 张江高科技园区 科苑路88号| 德 国中心E座501-503室 ) ( 热线 400-857-8882 www.phenom-china.comservice@phenom-china.com ) PHENOM(CHINA P. Guercio 和 P. Westphal 利用飞纳Pro X电镜检查分素分析数据(美国亚利桑那州， 坦佩市， GMSI) 石墨上的碳化硅膜(白色层)扫描电镜图片。放大倍数：540 PhenomChina·复纳科学仪器(上海)有限公司-飞纳中国 ( 上海 浦东新区 张江高科技园区 科苑路88号 德国中心E座501-503室 ) ( 热线 400-857-8882 www.phenom-china.comservice@phenom-china.com ) PHENOM(CHINA 石墨上碳化硅膜扫描电镜图片。背散射电子图片显示元素衬度，表明碳化硅扩散到石墨烯基体中，从而防止膜分层。 飞纳扫描电镜快速观察晶体机构，显示平坦覆盖层有缺陷位点。左右两张图片的放大倍数分别为1000倍和3900倍。 PhenomChina·复纳科学仪器(上海)有限公司-飞纳中国 ( 上海 浦东新区 张江高科技园区 科苑路88号 德国中心E座501-503室 ) ( 热线 400-857-8882 www.phenom-china.comservice@phenom-china.com ) PHENOM(CHINA 集成光学相机比关联显微镜提供更多信息，可以用于质量管理和控制，这里显示污染物从手套上转移到样品上。 PhenomChina·复纳科学仪器(上海)有限公司-飞纳中国 ( 热线 400-857-8882 www.phenom-china.comservice@phenom-china.com ) 石墨烯加工服务及创新责任公司（GMSI）为半导体和 LED 工业提供产品和支持，在公司内部，Peter Guercio 和同事都不是显微镜专家，但在日常的先进材料研究和研发中，他们能够熟练使用飞纳 Pro X 扫描电镜（SEM）。配置有能谱的飞纳电镜 Pro X 对工艺和产品的质量控制十分有益，与以前相比，实时获取结合元素分析能力使数据的采集速度提高 8 倍，在近期产品提升方面发挥了重要的作用。