金属元器件、金属镀层中表面形貌检测方案(扫描电镜)

飞纳电镜·数秒遍览微观世界 飞纳台式扫描电镜是 PCB行业失效分析的利器 在电子元器件的研制阶段、失效分析可纠正设计和研发过程中的错误，缩短研发周期；在电子元器件的生产、测试和使用阶段，失效分析可找出电子元器件的失效原因和引起失效的责任方。扫描电镜作为电子元器件失效分析的一种工具有其独特的特性，扫描电镜除了能够有效地观察试样的形貌之外，还具有能提供电压衬度像、电子束感生电流像、背散射电子像和吸收电子像等光学显微镜所达不到的功能。 根据失效分析结果，元器件生产厂家可改进元器件的设计和生产工艺，元器件使用方改进电路板设计，改进元器件或整机的测试、试验条件及程序甚至以此为根据更换不合格的元器件供货商。因此电子元器件失效分析对加快电子元器件的研制速度，提高元器件和整机的成品率和可靠性有重要意义。 利用飞纳台式扫描电镜可快速进行电子元器件失效分析，飞纳台式扫描电镜具有所有扫描电镜厂家中独有的大视野光学导航窗口和低倍电子导航窗口结合自动马达样品台可快速移动和分析样品。如图1所示，可以快速找到电子元器件的焊点位置，从而进行结合部位的失效观察。 图1利用导航窗口快速识别焊点位置 由于背散射电子产额随原子序数增大而明显增加，即样品平均原子序数大的部位产生较强的背散射电子信号，在荧光屏上形成较亮的区域；而平均原子序数较低的部位则产生较少的背散射电子，在荧光屏上形成较暗的区域，这样就形成原子序数衬度(成分衬度)。在电子元器件失效分析中，背散射电子像(成分衬度像)具有独特的优势，可以直观地看到电子器件的各层金属层，如图2，3所示i可清楚地见到电子器件上的金属镀层及镀层与基底结合情况。 图2金属镀层与基底结合紧密 图3金属镀层与连接线之间有空隙 飞纳台式扫描电镜得益于其高亮度的六硼化灯丝以及高灵敏度的背散射探头，可以获取出色的背散射电子像，结合其快速高效的导航功能非常适合用来进行电子元器件的失效分析，成为电子元器件失效分析中名副其实的利器。 飞纳台式科学仪器(上海)有限公司·飞纳中国上海丨浦东新区丨张江高科技园区丨科苑路丨德国中心E座热线|www.phenom-china.com|info@phenom-china.com 在电子元器件的研制阶段、失效分析可纠正设计和研发过程中的错误，缩短研发周期；在电子元器件的生产、测试和使用阶段，失效分析可找出电子元器件的失效原因和引起失效的责任方。扫描电镜作为电子元器件失效分析的一种工具有其独特的特性，扫描电镜除了能够有效地观察试样的形貌之外，还具有能提供电压衬度像、电子束感生电流像、背散射电子像和吸收电子像等光学显微镜所达不到的功能。根据失效分析结果，元器件生产厂家可改进元器件的设计和生产工艺，元器件使用方改进电路板设计，改进元器件或整机的测试、试验条件及程序甚至以此为根据更换不合格的元器件供货商。因此电子元器件失效分析对加快电子元器件的研制速度，提高元器件和整机的成品率和可靠性有重要意义。利用飞纳台式扫描电镜可快速进行电子元器件失效分析，飞纳台式扫描电镜具有所有扫描电镜厂家中独有的大视野光学导航窗口和低倍电子导航窗口结合自动马达样品台可快速移动和分析样品。如图1所示，可以快速找到电子元器件的焊点位置，从而进行结合部位的失效观察。图1 利用导航窗口快速识别焊点位置 由于背散射电子产额随原子序数增大而明显增加，即样品平均原子序数大的部位产生较强的背散射电子信号，在荧光屏上形成较亮的区域；而平均原子序数较低的部位则产生较少的背散射电子，在荧光屏上形成较暗的区域，这样就形成原子序数衬度（成分衬度）。在电子元器件失效分析中，背散射电子像（成分衬度像）具有独特的优势，可以直观地看到电子器件的各层金属层，如图2,3所示 ，可清楚地见到电子器件上的金属镀层及镀层与基底结合情况。图2 金属镀层与基底结合紧密                图3 金属镀层与连接线之间有空隙飞纳台式扫描电镜得益于其高亮度的六硼化铈灯丝以及高灵敏度的背散射探头，可以获取出色的背散射电子像，结合其快速高效的导航功能非常适合用来进行电子元器件的失效分析，成为电子元器件失效分析中名副其实的利器。