铝蚀刻液中磷酸、硝酸、醋酸检测方案(自动电位滴定)

解决混合酸分析痛点，雷磁有办法 -----铝蚀刻液成分分析-磷酸、硝酸、醋酸有多少? 一、背景介绍 蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于仪器镶板，铭牌等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。 铝是半导体工艺中最主要的导体材料。它具有低电阻、易于淀积和刻蚀等优点。铝蚀刻液主要成分是磷酸、硝酸、醋酸及水，其中磷酸、硝酸、醋酸及水的组成比例会影响到蚀刻的速率，故需要对这种混酸溶液的成分进行分析。 二、测试原理 1、硝酸：在样品中加入适量乙醇做溶剂，用四丁基氢氧化铵 (TBAOH) 滴定至终点，即可计算硝酸的含量。 2、醋酸和磷酸：在样品中加入适量饱和氯化钠溶液做溶剂，用氢氧化钠溶液做滴定剂，出现两个滴定终点。第一个终点是 HgPO4和 HNO3被耗尽时的终点，第二个终点是H2PO4和 HAc被耗尽时的终点，根据已知的硝酸含量，即可计算出磷酸及醋酸的含量。 三、混酸分析方法 (1)硝酸含量测试：在滴定杯内加入50mL无水乙醇，准确称取一定质量的样品置于滴定杯内，用0.01mol/L TBAOH 溶液做滴定剂进行电位滴定，终点电位突跃设置为 20mV/mL。 图1硝酸含量滴定曲线 (2)醋酸和磷酸含量测试：在滴定杯内加入50mL饱和氯化钠溶液。准确称取一定质量的样品置于滴定杯内，用 0.5mol/L氢氧化钠溶液做滴定剂进行电位滴定，终点电位突跃设置为100mV/mL. 图2醋酸和磷酸含量滴定曲线 四、注意事项 1、TBAOH 标定时需要使用纯水做邻苯二钾酸氢钾的溶剂，而使用 TBAOH 测定硝酸时必须使用无水乙醇做溶剂，不要在滴定杯内加入水，否则不会出现显著的滴定终点。 2、使用氢氧化钠测定醋酸和磷酸时，需使用饱和氯化钠溶液液溶剂，若使用纯水做溶剂会出现假终点。 五、仪器推荐 ZDJ-5B型自动滴定仪 、● 7寸彩色触摸电容屏，导航式操作 ● 支持电位滴定 实时显示测试方法、滴定曲线和测量结果 ● 可定义计算公式，直接显示计算结果 支持滴定剂管理功能 ● 支持 pH 的标定、测量功能 ● 支持USB、RS232连接 PC，双向通讯 ● 可直接连接自动进样器实现批量样品的自动测量 相关应用和产品详情，欢迎致电400-827-1953、关注雷磁公众号或浏览雷磁官网 http：//www.lei-ci.com 上海仪电科学仪器股份有限公司咨询电话：ww.lei-ci.com 蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于仪器镶板，铭牌等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。铝是半导体工艺中最主要的导体材料。它具有低电阻、易于淀积和刻蚀等优点。铝蚀刻液主要成分是磷酸、硝酸、醋酸及水，其中磷酸、硝酸、醋酸及水的组成比例会影响到蚀刻的速率，故需要对这种混酸溶液的成分进行分析。