高纯硅样品中磷和钛检测方案(ICP-MS)

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检测样品: 集成电路
检测项目: 化学性质
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发布时间: 2021-03-11
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安捷伦科技(中国)有限公司

钻石23年

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Agilent 8800 ICP-MS/MS(采用 MS/MS 模式)可以准确、高效地测定不同浓度(30 ppm 和 2000 ppm)高纯硅基质中的 P、Ti 和其他痕量元素。所有元素的 BEC 和 DL 都非常低,MS/MS 模式可以确保将目标产物离子与其他分析物生成的潜在干扰产物离子分离。这是 8800 ICP-MS/MS 的 MS/MS 模式所独有的功能。即使在使用超低流量雾化器的条件下,仍然可以获得优异的灵敏度和超低的检测限,对于 2000 ppm Si 基质样品可连续测定超过 3 小时,表明仪器具有出色的信号稳定性。

方案详情

Agilent 8800 ICP-MS/MS(采用 MS/MS 模式)可以准确、高效地测定不同浓度(30 ppm 和 2000 ppm)高纯硅基质中的 P、Ti 和其他痕量元素。所有元素的 BEC 和 DL 都非常低,MS/MS 模式可以确保将目标产物离子与其他分析物生成的潜在干扰产物离子分离。这是 8800 ICP-MS/MS 的 MS/MS 模式所独有的功能。即使在使用超低流量雾化器的条件下,仍然可以获得优异的灵敏度和超低的检测限,对于 2000 ppm Si 基质样品可连续测定超过 3 小时,表明仪器具有出色的信号稳定性。
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产品配置单

安捷伦科技(中国)有限公司为您提供《高纯硅样品中磷和钛检测方案(ICP-MS)》,该方案主要用于集成电路中化学性质检测,参考标准--,《高纯硅样品中磷和钛检测方案(ICP-MS)》用到的仪器有Agilent 8900 ICP-MS/MS