NMP中痕量的硫、磷、硅和氯检测方案(ICP-MS)

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检测样品: 集成电路
检测项目: 化学性质
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发布时间: 2021-03-11
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安捷伦科技(中国)有限公司

钻石23年

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S、P、Si 和 Cl 对四级杆 ICP-MS 分析都是极具挑战性的元素,而对 NMP 这样的有机基质,这些元素的检测会更加困难。使用 Agilent 8800 电感耦合等离子体串联质谱仪,在其独特的 MS/MS 模式下采用质量转移方法,对所有分析物都获得了很低的 BEC,充分展示了 ICP-MS/MS 在应对 ICP-MS 领域最具挑战的应用中表现出的灵活性和优越的性能。

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S、P、Si 和 Cl 对四级杆 ICP-MS 分析都是极具挑战性的元素,而对 NMP 这样的有机基质,这些元素的检测会更加困难。使用 Agilent 8800 电感耦合等离子体串联质谱仪,在其独特的 MS/MS 模式下采用质量转移方法,对所有分析物都获得了很低的 BEC,充分展示了 ICP-MS/MS 在应对 ICP-MS 领域最具挑战的应用中表现出的灵活性和优越的性能。
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产品配置单

安捷伦科技(中国)有限公司为您提供《NMP中痕量的硫、磷、硅和氯检测方案(ICP-MS)》,该方案主要用于集成电路中化学性质检测,参考标准--,《NMP中痕量的硫、磷、硅和氯检测方案(ICP-MS)》用到的仪器有Agilent 8900 ICP-MS/MS