硅片中微纳结构检测方案(扫描电镜)

EM科特--扫描电子显微镜服务热线：400-625-9009 官网： www. emcrafts. com.cn EM科特扫描电镜应用―—硅片上的微纳结构观测 综述： 纳米结构通常是指尺寸在100nm 以下的微小结构。以纳米尺度的物质单元为基础，按一定规律构筑或组装一种新的体系。它包括一维的、、二维的、三维的体系，这些物质单元包括纳米微粒、稳定的团簇或人造超原子、纳米管、纳米棒、纳米丝以及纳米尺寸的孔洞。结构表征广泛使用扫描电镜。 仪器介绍： EM科特扫描电镜高分辨率且购置费用和维护成本低，使用方便。 实验步骤： 将具有纳米结构的硅片用双面导电胶带粘在铝制样品托上，直接放入驰奔-e扫描电镜，观察形貌。放大倍数20000X-160000X。高信噪比操作，照相速度 10s。 结果讨论： 硅片表面存在纳米线状的结构，结构形态清晰，按照某种规律分布均匀，纳米线宽25nm 左右 纳米结构通常是指尺寸在 100nm 以下的微小结构。以纳米尺度的物质单元为基础，按一定规律构筑或组装一种新的体系。它包括一维的、二维的、三维的体系，这些物质单元包括纳米微粒、稳定的团簇或人造超原子、纳米管、纳米棒、纳米丝以及纳米尺寸的孔洞。结构表征广泛使用扫描电镜。