半导体生产中的气体流量测量

半导体工业不接触介质进行测量半导体和印刷电路板（PCB）的生产过程中采用的液体要么具有腐蚀性，要么超级纯。 FLEXIM的钳式流量计是完成这些任务的理想解决方法，因为它们永远不会与流动介质直接接触。 此外，由于完全不使用金属，采用特殊的安装夹具，这种计量系统非常适合甚至时对软管的最低流量的准确测量，完全不存在污染介质流的潜在风险。 PIOX的过程折射仪产品系列解决了其它洁净室环境的应用，如：在对刻蚀后残留物的去除过程进行监控时。电子元件的生产过程需要各种不同的气体，如氮气、氩气、氦气甚至是压缩空气。这些工业气体大多不是在现场生产的，而是从外部采购的，这意味着它们涉及相当大的成本。除此之外，生产压缩空气还需要消耗大量的能源，这也意味着巨大的成本。为了确定主要消费者并尝试优化生产过程的操作，首先必须测量各种体积流量。便携式 FLUXUS G601 超声波流量计成为一家半导体生产商的理想测量系统：由于采用了非侵入式的测量技术，不需要打开现有的管道来设置临时的流量测量点，因此不会中断生产。由于外夹式超声波传感器只需安装在管道外部，不与内部流动的气体接触，所以绝对没有污染高纯度介质的风险。因此，外夹式超声波系统也可以毫无顾虑地在洁净室环境中使用。此外，FLEXIM 的非侵入式测量技术也不存在泄漏的风险。FLUXUS G601 的用户特别欣赏其简单实用的可管理性、可靠性以及卓越的灵活性和多功能性。连接传感器后，测量主机会自动检测并读取存储的数据（传感器类型、序列号、校准数据）。这使得测量点的设置更加容易，并确保测量值的准确性和可追溯性。便携式 FLUXUS G601 以及永久性 FLUXUS G721 或 G704CA 超声波系统适用于各种气体以及压缩空气的非侵入式流量测量，几乎可用于所有管道材料。可靠、精确的测量快速安装和调试非侵入式的测量，因此：不中断生产没有污染高纯度介质的风险无泄漏风险最大的灵活性和通用性：单一的测量系统适用于广泛的应用范围传感器连接后自动检测，传输校准数据，不需要零点调整简单、直观的参数化半导体工业 不接触介质进行测量 半导体和印刷电路板（PCB）的生产过程中采用的液体要么具有腐蚀性，要么超级纯。 FLEXIM 的钳式流量计是完成这些任务的理想解决方法，因为它们永远不会与流动介质直接接触。此外，由 于完全不使用金属，采用特殊的安装夹具，这种计量系统非常适合甚至时对软管的最低流量的准确测 量，完全不存在污染介质流的潜在风险。PIOX的过程折射仪产品系列解决了其它洁净室环境的应用，如：在对刻蚀后残留物的去除过程进行监控时。 半导体生产中的气体流量测 量 电子元件的生产过程需要各种不同的气体，如氮气、氩气、氦气甚至是压缩空气。这些工业气体大多不是在现场生产的，而是从外部采购的，这意味着它们涉及相当大的成本。除此之 外，生产压缩空气还需要消耗大量的能源，这也意味着巨大的成本。为了确定主要消费者并尝试优化 生产过程的操作，首先必须测量各种体积流量。 便携式 FLUXUSG601超声波流量计成为一家半导体生产商的理想测量系统： 由于采用了非侵入式的测量技术，不需要打开现有的管道来设置临时的流量测量点，因此不会中断生 产。由于外夹式超声波传感器只需安装在管道外部，不与内部流动的气体接触，所以绝对没有污染高 纯度介质的风险。因此，外夹式超声波系统也可以毫无顾虑地在洁净室环境中使用。此外，FLEXIM的 非侵入式测量技术也不存在泄漏的风险。 FLUXUSG601的用户特别欣赏其简单实用的可管理性、可靠性以及卓越的灵活性和多功能性。连接 传感器后，测量主机会自动检测并读取存储的数据（传感器类型、序列号、校准数据）。这使得测量 点的设置更加容易，并确保测量值的准确性和可追溯性。便携式 FLUXUSG601以及永久性 FLUXUS G721或 G704CA超声波系统适用于各种气体以及压缩空气的非侵入式流量测量，几乎可用于所有 管道材料。 干法蚀刻与光刻技术相结合，广泛用于半导体制造工艺。蚀刻过程中去除残留物要用到特殊的化 学品，如 EKC265™。残留物清洗是一个重要的因素，会影响最终的集成电路(IC)质量。 对清洗过程的在线监测，以往无法实现。实验室会不定期对清洗液进行取样并通过 FTIR仪器进 行分析。这个过程必须手工完成，成本很高，而且不能实现对清洗液必要的连续监测。人们发现，清 洗剂（例如 EKC265™等）随着浓度升高（由于水的蒸发），清洗性能会降低。因此，一些清洗过的 晶圆批次不能用于进一步生产，需要重新清洗。这是产量的重大损失，也意味着额外的成本。 在线过程折射仪 PIOXR是一种卓越的替代方案，可以持续监测清洗剂的质量，避免失败的清洗 周期，并获知清洗液中的实际水含量。PIOXR安装在旁路（直接安装在旋转冲洗干燥器中），监 测清洗剂的浓度，如 EKC265™（以 w%为单位的水含量输出），保证清洗液的质量，优化晶圆清洗 结果，提高液槽寿命。 微处理器通常在大型半导体工厂生产。为了将微电子电路用于超纯硅晶体晶圆，要连续用各种液 体处理晶圆——超纯水、各种酸和特殊化学品。这些液体储存在各种储罐里，通过管道连接到各个生 产部门。 在许多情况下，消耗量至今都是纯粹根据储罐的填充水平来计算的。为了优化过程控制和资源使 用，直接消耗量测量正变得越来越关键。然而，重要的是，绝对不能存在液体污染风险——特别是金 属离子污染。 FLEXIM的非侵入、无金属超声波流量测量系统是这种测量任务的最佳解决方案： 无金属超声波传感器只需夹在管道上，不会与流经管道或管子的介质接触，从而完全避免了所有 污染风险。结合特殊的安装夹具，这套测量系统也可以准确无误地用于柔性管道，甚至在低至每小时 仅数升的流速下也能测量。