电子特气中痕量杂质、含氟气体检测方案(气相色谱仪)

北京高麦克仪器科技有限公司 电子特气解决方案--高麦双“M”体系 电子特气国产化势在必行 2020年，我国电子特气市场规模约173.6亿元，每年保持10%以上的复合增长率，国内90%的电子特气用于半导体行业。 液化空气 在企业竞争格局中，目前，国外电子特气企业牢牢握住了国际及中国市场，其中，外企占据了85%的市场份额，国内厂家仅占15%，，国内自给率仍有较大的提升空间。当前，新冠肺炎疫情放大了国内电子特气供需矛盾。疫情导致国外电子特气制造、物流、运输等等环节受限，造成电子特气在供给端减少。而国内疫情控制效果明显，各个晶圆厂已经进入全面复工复产期，需求端全面复苏。国内需求增加，国外供给减少，电子特气迎来了替代窗口期。随着中美贸易摩擦、国家政策的支持、国内市场需求等多方面的影响，国内电子特气的发展迎来了机遇。 电子特气面临的气体纯度壁垒 表1：气体纯度分类 气体等级 纯度要求 杂质含量 应用领域 大宗气体 3N ≤1000×10-6 一般器件 纯气体 4N ≤100×10-6 晶体管等 高纯气体 5N ≤10×10-6 大规模集成电路 电子气体 6N ≤1×10-7 超大规模集成电路 在纯度方面，普通工业气体要求在99.99%左右，但是在先进制程的集成电路制造过程中，电子特气纯度要求在6N (99.9999%))以上。电子特气的主要生产流程包括气体合成，气体纯化，气体混配和气瓶处理。每一步都需要检测电子特气中的杂质含量，确保整个过程能够得到纯度达标的电子特气。 高麦电子特气解决方案- “双M体系” 电子特气大部分气体均存在腐蚀性，并且杂质含类多，其含量检测要求需达到在ppb 级别。对此，高麦利用搭载氦离子化检测器的气相色谱仪和傅里叶红外的完美配合，已成为目前“电子特气纯度分析”中更为领先的解决方案。 解决方案--双“M”体系 搭载氦离子化检测器的气相色谱仪和傅里叶红外的完美配合，目前是分析电子气纯度最好的解决方案。 应用实例： 1)搭载 GOW-MAC DID 检测器的气相色谱仪谱图 保留时间[min] 峰高[mV] 响应 含量[PPM] 化合物名称 1 1.459 0.008 0.066 0.023 -H2 2.699 2.457 9.705 1.189 02 3.835 3.709： 22.553 3.341 N2 4.717 29.270 179.034 17.439 CF4 10.053 2.018 28.539 0.917 CO2 13.083 2.653 46.184 1.422 N2O 20.240 0.022 1.017 0.064 SF6 合计 40.137 24.395 钢化品 硒化氢样品气 2) MIDAC FTIR谱图 图中，我们实时监测的组分包括： C2F6、C3F8、C4F8、CF4、SiF4、SiH4。 心 HF谱图 电子特气大部分气体均存在腐蚀性，并且杂质含类多，其含量检测要求需达到在ppb级别。对此，高麦利用搭载氦离子化检测器的气相色谱仪和傅里叶红外的完美配合，已成为目前“电子特气纯度分析”中更为领先的解决方案。