电子特气属于半导体八大核心材料之一，全球半导体行业协会（SEMI）数据显示，电子特气在半导体晶圆制造材料价值占比13.50%，电子特气是继硅片之后的第二大半导体材料。
磷烷和砷烷为高纯特气家族中技术门槛和开发难度最高的两种气体，一直是半导体、 LED、光伏、航天和国防事业的关键原材料，长期被海外技术封锁。其中砷烷因其易燃、易爆、剧毒的特性，从合成到提纯各种环节难度较大，为电子特气中“皇冠上的明珠”。
图片磷烷是半导体器件制造中的重要N型掺杂源，其可用于多晶硅化学气相沉淀、外延GaP材料、离子注入工艺、MOCVD工艺、磷硅玻璃钝化膜制备等工艺中。砷烷主要用于外延硅的N型掺杂、硅中的N型扩散、离子注入、生长砷化镓和磷砷化镓。由于二者分子结构相似，工艺技术同源、应用场景相似，迄今尚无替代材料。
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电子特气属于半导体八大核心材料之一，全球半导体行业协会（SEMI）数据显示，电子特气在半导体晶圆制造材料价值占比13.50%，电子特气是继硅片之后的第二大半导体材料。磷烷和砷烷为高纯特气家族中技术门槛和开发难度最高的两种气体，一直是半导体、 LED、光伏、航天和国防事业的关键原材料，长期被海外技术封锁。其中砷烷因其易燃、易爆、剧毒的特性，从合成到提纯各种环节难度较大，为电子特气中“皇冠上的明珠”。磷烷是半导体器件制造中的重要N型掺杂源，其可用于多晶硅化学气相沉淀、外延GaP材料、离子注入工艺、MOCVD工艺、磷硅玻璃钝化膜制备等工艺中。砷烷主要用于外延硅的N型掺杂、硅中的N型扩散、离子注入、生长砷化镓和磷砷化镓。由于二者分子结构相似，工艺技术同源、应用场景相似，迄今尚无替代材料。
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高麦克仪器 GOW-MAC为您提供《电子特气砷烷、磷烷中微量杂质分析检测方案(气相色谱仪)》，该方案主要用于其他中化学性质检测，参考标准--，《电子特气砷烷、磷烷中微量杂质分析检测方案(气相色谱仪)》用到的仪器有GM 826系列气相色谱仪
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