金纳米颗粒中表面形态检测方案(扫描电镜)

Application Techcomp天美 SU9000000减速功能及在观察样品表面信息中的应用 日立 SU9000 超高分辨冷场发射扫描电镜，达到扫描电镜世界最高二次电子分辨率0.4nm 和 STEM 分辨率0.34nm。日立 SU9000 采取了全新改进的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能明显提升，而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的 Flashing 操作，可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。 日立场发射电镜配备了减速功能，通过在样品台加上减速电压，使照射在样品上的照射电压降低，可以实现低电压高分辨观察、低电子束损伤或者对样品极表面形貌进行观察等目的，而SU9000配有专用的减速样品杆，减速电场分布在样品上方，独特的样品座设计减少了电场畸变，并且使得电子光路最优化，使用减速模式后，分辨率获得很大的提高： 图一：SU9000专用的减速样品杆 图二：非减速与减速模式效果对比 天美(中国)科学仪器有限公司 北京市朝阳区天畅园7号楼(100107) t 010-64010651 010-64060202 techcomp@techcomp.cn w www.techcomp.cn 利用蒙特卡洛法模拟电子束散射，当电压越低，电子束在样品表面的散射深度越浅，可以观察到样品越表面的信息，如图三所示，当电压是500V时，样品表面细节较少，而当电压降到100V时，可以观察到样品极表面的细节： 图三：超低电压观察样品表面 并且 SU9000 可以分别使用 Top 探头和 Upper 观察样品的电位衬度及表面衬度，对样品高分子膜的信息及表面形貌信息进行观察。 图四：利用超低加速电压观察样品表面电位衬度及表面衬度 日立SU9000超高分辨冷场发射扫描电镜，达到扫描电镜世界最高二次电子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改进的真空系统和电子光学系统，不仅分辨率性能明显提升，而且作为一款冷场发射扫描电镜甚至不需要传统意义上的Flashing操作，可以高效率的快速获取样品超高分辨扫描电镜图像。