材料中表面形貌检测方案(扫描探针)

Techcomp天美Application天美(中国)科学仪器有限公司北京市朝阳区天畅园7号楼(100107)t 010-64010651010-64060202techcomp@techcomp.cnw www.techcomp.cn 日立全新 AFM 5500M 介绍 日立全新一代全自动化原子力显微镜 AFM 5500M 是日立收购原精工原子力显微镜部门后发布的第一款真正意义上的全自动原子力显微镜，它克服了传统 AFM 操作复杂的问题，使得 AFM的操作变得十分简单。同时， AFM 5500M 还配备了全新的平板扫描器，扫描范围和扫描精度也比传统扫描器有很大的提升，而与扫描电镜的联用则进一步扩大了 AFM 与 SEM 的应用领域。 传统 AFM 的操作十分复杂，尤其是换探针和激光位置的设置对于大部分初学者都是比较困难的，而这两步又是 AFM测量准确的前提。因此，为了让大部分人都可以轻松获得高质量图片， AFM 5500M 采用了全新的操作方式，不仅可以实现探针的自动更换，还可以实现激光位置的自动调节，只需在软件上点击激光点位置即可实现所有操作，大大简化了 AFM 换针和调激光的难度。除此之外， AFM 5500M 还具有自动参数设置功能，只要点一下自动开始，所有参数都会自动设置完成，无需复杂的设置即可获得最佳扫描参数，从而获得高质量图片。 图一 AFM 5500M 自动换针、调激光及自动设置参数的过程 AFM 5500M 采用了全新的平板式扫描器，相比传统的压电陶瓷管扫描器，平板式扫描器获得的扫描平面弯曲效应更小，扫描范围也更大(达到200um)，这有利于大面积范围的扫描。同时， AFM 5500M 配置了高精度位移传感器，克服了传统压电信号由于压电陶瓷的蠕变或延迟效应带来的测量精度问题，可以获得高精度的图片。 56 nml 女 90pm 传统扫描器 新扫描器器AFM5500M 最大扫描范围：90pm ·BOW 10~20 nm/50 pm ·最大扫描范围：200 um以上·BOW 保证值 2nm/50 pm以下 图二传统扫描器与平板扫描器弯曲效应的对比 除了在操作和测量精度方面的提升外， AFM 5500M 还提供新的一种应用方式，即与SEM 联用。得益于日立公司在扫描电镜方面的优势， AFM 5500M 实现了与SEM 的联用。AFM 可以获得样品的高度、3D信息以及各种物理特性(电、磁、热等)，而 SEM则可以获得形貌、成分、晶体结构等信息，两者相互配合可以获得全方位的样品信息，为分析样品特性提供更有利的条件。 图三 AFM与 SEM 联用获得样品的形貌、成分以及磁学相关信息 因此， AFM 5500M是一款操作简单，测量精度高，同时扩展能力非常强的全自动原子力显微镜。 日立全新一代全自动化原子力显微镜AFM 5500M是日立收购原精工原子力显微镜部门后发布的第一款真正意义上的全自动原子力显微镜，它克服了传统AFM操作复杂的问题，使得AFM的操作变得十分简单。同时，AFM 5500M还配备了全新的平板扫描器，扫描范围和扫描精度也比传统扫描器有很大的提升，而与扫描电镜的联用则进一步扩大了AFM与SEM的应用领域。