低加速电压成像在扫描电镜成像中有着重要的作用。采用低加速电压成像，低能电子束受到散射的扩散区域小，相互作用区接近表面，有利于表面精细形貌成像。对于某些热敏或导电性能差的样品，如半导体和器件、合成纤维、溅射或氧化薄膜、纸张、动植物组织、高分子材料等，有时不允许进行导电处理，而要求直接观察，采用低加速电压成像可以减小或消除此类样品的荷电效应同时减小电子束辐照损伤。下图为氧化锌样品在5KV 和15KV 下的图像对比，由图像可知，在5KV 低加速电压下，样品表面细节特征清晰，有利于表面精细形貌的观察。
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