伯东pfeiffer氦质谱检漏仪 MOCVD 设备检漏

伯东企业（上海）有限公司HAKUTO ENTERPRISES (SHANGHAI) LTD.TEL: (86) 21-5046 3511 FAX: (86) 21-5046 1490 标题：上海伯东德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​) MOCVD 设备检漏 上海伯东客户厦门某大型 LED 生产企业，近日成功采购6台氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​) ASM 340 用于 MOCVD 设备检漏。 MOCVD 是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。因为 MOCVD 生长使用的源是易燃、易爆、毒性很强的物质，因此在设备出厂时必须要考虑密封性，否则一旦有毒物质泄漏，后果不堪设想！ 上海伯东客户厦门某大型 LED 生产企业应用实例： MOCVD 需要检漏位置：所有怀疑有漏的地方都需要进行检漏，主要检漏源供给、输运和尾气处理系统（例如管路接头、管道、焊缝等位置）。 根据客户实际需要，MOCVD 检漏基本配置：氦质谱检漏仪 ASM 340 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-detail.php?id=141​) +干式真空泵 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-detail.php?id=134​) ACP 28 如下图所示： MOCVD检漏方法：采用真空模式检漏 1. 将设备通过波纹软管连接检漏仪 ASM 340 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-detail.php?id=141​)，确认连接完毕 2. 启动 ASM 340，进入待机界面；初次启动时间大约 3min，以后启动 < 1min 3. 按下开始键，先通过 bypass 阀门启动干式真空泵 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-detail.php?id=134​) ACP 28抽真空，到达一定压力检漏仪 ASM 340开始工作，同时在设备怀疑有漏的地方喷氦气；若有漏，检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)马上报警，显示该喷射点有漏。 4. 检测完毕，按下检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)待机键，放气、关闭电源，移除连接管路。 Pfeiffer 德国普发氦质谱检漏仪 ：上海伯东真空产品事业部是德国 Pfeiffer (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?pid=18​) 指定销售维修中心，作为 Pfeiffer (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?pid=18​) 的股东，我司是国内最早代理 Pfeiffer (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?pid=18​) 产品的公司，100% 原装进口并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售后维修服务。 上海伯东主营产品：德国普发 Pfeiffer 涡轮分子泵 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=26​)，干式真空泵 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=29​)，罗茨真空泵 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=28​)，旋片真空泵 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=27​)；应用于各种真空环境下的真空计 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=34​)，氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)，质谱分析仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=36​)以及美国考夫曼公司 KRI 离子源 离子枪 霍尔源 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?pid=16​)，美国 HVA 真空阀门 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?pid=70​)，Polycold 冷冻机 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?pid=1​)，离子刻蚀机 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-detail.php?id=183​)等。 若您需要进一步的了解详细信息或讨论，请参考以下联络方式： T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049 M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958 ec@hakuto-vacuum.cn (​mailto:ec@hakuto-vacuum.cn​) ec@hakuto.com.tw (​mailto:ec@hakuto.com.tw​) www.hakuto-vacuum.cn (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​) www.hakuto-vacuum.com.tw 上海伯东版权所有，翻拷必究！ 伯东氦质谱检漏仪 ASM 340（HLT560） 干式真空泵 ACP 28 订制小推车 控制阀门 Bypass