上海伯东半导体用配管配件氦质谱检漏法

伯东企业（上海）有限公司HAKUTO ENTERPRISES (SHANGHAI) LTD.TEL: (86) 21-5046 3511 FAX: (86) 21-5046 1490 氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)半导体用配管配件检漏 上海伯东客户某专门生产半导体配管配件工程公司, 定制高端不锈钢管, 配件, 阀门和歧管广泛应用于半导体厂务端, 用于输送高压氧气, 氢气等. 客户从现场量测管路, 然后对不同口径的管路进行焊接, 因半导体行业的苛刻使用要求, 产品漏率值需要达到 <1E-9mar l/s, 因此需要进行泄漏检测, 已验收管件是否达标. 客户对检漏效率要求较高, 需要在生产线使用且方便移动操作, 经过上海伯东推荐最终选择移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 和 ASM 392 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-detail.php?id=387" \t "_blank​)! 半导体用真空配管检漏方法: 需要对焊接的配管进行检漏, 配管组装完成后, 对整个管线也要进行检漏. 采用真空模式检漏, 按照下图组装样品, 在怀疑有漏的地方喷氦气（一般需要检漏的部位是焊缝或连接处), 如果有漏, 检漏仪会出现声光报警同时在屏幕上显示当前漏率值. 检漏配置: 1. 氦质谱检漏仪 ASM 390 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-detail.php?id=387" \t "_blank​) 1台 2. 客制转接头和配套密封件一套 3. 喷枪和配套氦气瓶一套  将制作好的各种管件加工焊接, 然后管路连接至氦气检漏仪 ASM 390 进行检漏  经过实际测试, 无论管径是 6’, 8’ or 10’, 长度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以内达到客户检漏底压需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又精准, 大大提升了工作效率 测试各个管路时, 可依照客户需求将数据记录储存 (并可储存至计算机内)  到现场配管, 所有管件组装后, 长度达好几十米, 对比之前的检漏时间, 工程花费时间可能趋近于一天, 但选用伯东 Pfeiffer ASM 390, 在整体抽校与检漏时间上, 几乎缩短了一倍时间！  因管路衔接长, Pfeiffer ASM 390 针对此点多了一项功能 大漏模式: 定性泄漏检测从100 mbar 到20 mbar 开始（进入测试模式之前）此一区间即可进行检漏, 快速缩短检漏时间   结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​), 从便携式检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)到工作台式检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)替代传统泡沫检漏 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)和压差检漏 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​), 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)满足单机检漏, 也可集成在检漏 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >> (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=101" \t "_blank​) 若您需要进一步的了解密封性泄露测试, 请联络上海伯东叶女士 现部分品牌诚招合作代理商, 有意向者欢迎联络上海伯东 叶女士 上海伯东版权所有, 翻拷必究！ 半导体用真空配管检漏方法: 需要对焊接的配管进行检漏, 配管组装完成后, 对整个管线也要进行检漏. 采用真空模式检漏, 按照下图组装样品, 在怀疑有漏的地方喷氦气（一般需要检漏的部位是焊缝或连接处), 如果有漏, 检漏仪会出现声光报警同时在屏幕上显示当前漏率值.检漏配置:1. 氦质谱检漏仪 ASM 390 1台2. 客制转接头和配套密封件一套3. 喷枪和配套氦气瓶一套 将制作好的各种管件加工焊接, 然后管路连接至氦气检漏仪 ASM 390 进行检漏 经过实际测试, 无论管径是 6’, 8’ or 10’, 长度在 1m~2m, 均可在 < 90 s 以内达到客户检漏底压需求 <1E-9 mbar l/s, 快速又精准, 大大提升了工作效率