半导体中表面缺陷检测方案(扫描电镜)

飞纳电镜·数秒遍览微观世界 浅谈飞纳电镜能谱一体机在 EMS 工厂失效分析中部分应用 现在各种各样的电子产品，尤其手机、平板电脑、投影仪等产品，不管是什么知名品牌的产品，许多都是请专业电子代工服务供应商来代工生产的，所谓的名牌有时只是提供品牌、设计、监控、技术支持等工作。因此可以说这些 EMS供应商才是热销产品的真正幕后英雄。中国本土的 EMS企业经过10余年的发展，已经形成了一定规模，为我国电子工业的发展做出了巨大的贡献。 什么是 EMS 工厂? EMS， 英文全名 Electronic Manufacturing Services ， 就是人们通常所说的电子厂。 什么是失效分析? 失效分析是一门发展中的新兴学科，近年开始从军工向普通企业普及。它一般根据失效模式和现象，通过分析和验证，模拟重现失效的现象，找出失败的原因，挖掘出失效的机理活动。在提高产品质量，技术开发、改进，产品修复及仲裁失效事故等方面具有很强的实际意义。尤其对 EMS工厂中产品制程的改良和产品品质的控制起着举足轻重的作用。其方法分为有损分析，无损分析，物理分析和化学分析等。 飞纳台式扫描电镜能谱普体机在 EMS工厂失效分析中的部分应用： ( 飞纳台式科学仪器(上海)有限公司·飞纳中国 ) 随着手机、电脑等电子产品越来越智能化，更新迭代的速度也是非常之快，也就对内部设计要求越来越高，电子产品越来越精细，从而也加大了 EMS工厂生产中的难度。 这也迫使工厂在做检测时需要用放大倍数更大，景深更好的设备来控制生产中的工艺，必要时还需要分析污染物的元素定性，来追根溯源污染物的来源。传统光镜的放大倍数和景深已经无法满足当前 EMS 中失效分析的要求。 飞纳台式扫描电镜能谱一体机最大可以放大100，000倍，分辨率可以达到20nm以下，以及具有光学显微镜无法比拟的超高景深以及配套的能谱，能谱可以元素定性半定量。 飞纳台式扫描电镜能谱一体机在 EMS工厂中失效分析的主要应用为：放大观察样品表面缺陷、对缺陷部位进行点、线、区域、面扫的元素定性半定量分析等。同时飞纳电镜能谱一体机对工作环境无特殊要求，使用的简便和六硼化饰灯丝的稳定性，也满足了工厂高效率的要求。 总结，飞纳台式扫描电镜能谱一体机是 EMS工厂中失效分析非常高效率的工具之一。 EMS 典型客户：鸿海科技(富士康)、伟创力、华硕科技、广达电脑、新美亚电子、捷普科技、天弘集团、英业达、纬创资通等。 飞纳台式科学仪器(上海)有限公司·飞纳中国 LVDS-表面刮痕 漆片 头屑样品 20161 橡胶样品 连接器表面脏污-能谱判定 715.880 counts in 278 seronds 上海丨| 浦东新区丨张江高科技园区丨科苑路88号丨德国中心E座501-503室热线|400-857-8882|www.phenom-china.com|info@phenom-china.com 上海||浦东新区丨张江高科技园区丨科苑路丨德国中心E座热线|www.phenom-china.com| info@phenom-china.com 上海|浦东新区张江高科技园区丨科苑路丨丨德国中心E座热线|www.phenom-china.com|linfo@phenom-china.com 随着手机、电脑等电子产品越来越智能化，更新迭代的速度也是非常之快，也就对内部设计要求越来越高，电子产品越来越精细，从而也加大了 EMS工厂生产中的难度。 这也迫使工厂在做检测时需要用放大倍数更大，景深更好的设备来控制生产中的工艺，必要时还需要分析污染物的元素定性，来追根溯源污染物的来源。传统光镜的放大倍数和景深已经无法满足当前 EMS 失效分析的要求。 飞纳台式扫描电镜能谱一体机最大可以放大 100,000 倍，分辨率可以达到 20 nm 以下，以及具有光学显微镜无法比拟的超高景深以及配套的能谱，能谱可以进行元素的定性半定量。 飞纳台式扫描电镜能谱一体机在 EMS工厂中失效分析的主要应用为： 放大观察样品表面缺陷、对缺陷部位进行点、线、区域、面扫的元素定性半定量分析等。同时飞纳台式扫描电镜能谱一体机对工作环境无特殊要求，使用的简便和六硼化铈灯丝的稳定性，也满足了工厂高效率的要求。 总结，飞纳台式扫描电镜能谱一体机是 EMS工厂中失效分析非常高效率的工具之一。