多自由度可调节光学标准平面镜

多自由度可调节光学标准平面镜案例概要多自由度可调节光学标准平面镜是专业为大型光学镜片调整设计的电动万向式镜架,可满足最大0.62米反射镜安装调整,非常适合天文光学和大型高功率激光实验系统使用。案例背景市场上常见的电调光学镜架镜面与镜架安装面垂直布置。在某些光学系统中，还有些与安装面倾斜布置的镜片需要采用电调机构微调镜片的角度。 现有的电调镜常采用球铰结构，这种结构转动灵敏，适于小口径镜架使用，但在镜面滚转方向刚度小，安装球铰结构的大型电调镜在外场振动环境使用时，活动的镜框结构受到冲击易产生侧向串动，引起镜片位置变动，难以适应车载等振动冲击剧烈的严峻环境。大口径光学元件是高功率固体激光装置的重要组成部分，如点火装置(NIF)内包含800多块大口径反射镜，这些大口径反射镜可用于引导光束走向，大口径反射镜调整架其 主要功能是通过对大口径反射镜姿态的精确控制，实现引导光束刻蚀光栅。但在航空航天领域，急需一款大型光学镜片调整镜架既要有灵敏平滑的角度调节功能，调整结束后又要有精确稳固的定位性能的调整镜架。  案例产品介绍多自由度可调节光学标准平面镜，反射镜调整架主体材料采用高稳定性航空铝，平面镜镜室采用与镜体线胀系数相匹配的超低膨胀殷钢材料，并进行轻量化、强度和热稳定性优化设计。调整架的镜片装夹采用自定心柔性结构，保证镜片只受径向力而不受轴向力，防止镜面装夹变形，控制镜面装夹变形小于λ/50（λ=633nm） 。调整架调节机构采用精密螺纹副，螺纹副需经碳氮共渗工艺进行表面强化处理，表面处理后维氏硬度达到500以上，保证螺纹副的耐磨性和调节精度稳定性。平面镜调整架底部含有隔振垫，高刚度、高阻尼，支持高度调节。各个调整机构中Xθ、Zθ和Z三个自由度的调节采用模块化设计、独立调整，使用方便。Z轴手动调节，Xθ、Zθ轴采用伺服驱动单元，不会对所支撑的磁场系统构成干扰。