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电子特种气体(简称“电子特气”)是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。晶圆制造主要包括清洗、沉积/CVD、光刻、刻蚀、离子注入、成膜等工艺,从单个芯片生成到最后器件的封装,几乎每一个环节都离不开电子特气,因此电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”。
电子特种气体(简称“电子特气”)是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。晶圆制造主要包括清洗、沉积/CVD、光刻、刻蚀、离子注入、成膜等工艺,从单个芯片生成到最后器件的封装,几乎每一个环节都离不开电子特气,因此电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源”。【芯片制造的血液】高麦电子特气分析解决方案三三
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高麦克仪器 GOW-MAC为您提供《【芯片制造的血液】高麦电子特气分析解决方案》,该方案主要用于工业气体中含量分析检测,参考标准--,《【芯片制造的血液】高麦电子特气分析解决方案》用到的仪器有MIDAC I系列FTIR