半导体 CMP（化学机械抛光）浆料中粘度、密度在线监测检测方案(其它流变仪/粘度计)

上海人和科学仪器有限公司Shanghai Renhe Scientific Instrument Co.， Ltd. 通过密度和粘度在线监测进行半导体 CMP(化学机械抛光) 浆料质量控制 表面的化学机械抛光 (CMP)是一种通过化学反应去除表面材料的过程，也是半导体工业中用于制造集成电路和存储盘的标准制造工艺。在抛光垫和晶片之间使用主要包含纯水、化学试剂和不同抛光颗粒的 CMP 浆料。通过持续监测 CMP 浆料的健康状况，可以确保最佳工艺性能，这有助于满足下一代浆料更严格的纯度和混合精度要求。此外，持续的粘度/密度优化有助于降低 CMP 工艺和耗材的成本。 半导体制造行业 CMP 工艺概述 在 CMP 中需要浆料工艺控制的必要性 半导体行业的关键在于整个工艺过程中保持严格的质量控制。在多掩模工艺中， CMP浆料定义了后续层沉积的表面纹理。尺寸较小的电子元件需要更复杂的 CMP工艺，浆料质量标准也变得更加严格。虽然浆料在制造点 (POM) 可能受到严格控制，但随后的操作，如运输、处理、混合、过滤和分配在抛光垫上可能会改变其化学性质(例如，影响氧化剂或添加剂)。更改此类参数可能会影响工艺性能并导致晶圆级缺陷，从而影响产能。为了防止出现这种不良影响，必须在使用时连续监测浆料的化学性质。 司公限CMP工艺示意图有 CMP 浆料的粘度和密度在抛光操作中的重要性 浆料的粘度和密度用于评估颗粒在CMP 浆料中的分散，因为颗粒大小和粘度存在关联。浆料的粘度取决于化学和机械成分。浆料应具有窄且均匀的粒度分布和均匀的密度。密度变化表明浆料不均匀，这会影响抛光效果。团聚和大颗粒可以通过搅拌机中的过滤器去除，但密度变化难以发现。比如，浆料颗粒符合规格并通过过滤器，经浓缩后运输，然后在晶圆厂用水或过氧化氢稀释。由于混合不充分，浆料桶底部的密度可能更高，这会导致缺陷。CMP的进料质量取决于工厂操作以及现场混合和存储，在线监测浆料密度可确保均匀的混合物输送到抛光垫。 LISICO用于半导体 CMP 浆料质量控制的解决方案 在线粘度/密度测量和控制，对于在制造过程中控制粘度/密度并确保关键特性完全符合多批次的要求至关重要，而不必依赖离线测量方法和取样技术。LISICO 为过程控制和优化提供以下解决方案。 在线粘度和密度计 1.在线粘度测量： LISICO SRV 在线粘度计能够实时检测任何工艺流程中的粘度变化。 2. 在线粘度/密度测量：LISICO SRD 在线粘度/密度计是一种可同时测量密度和粘度的在线仪器，r，它具有类似于 SRV 的操作能力以及精确的密度测量。 在线质量控制地点 ● 在各种加工容器之间的连接管中 在反应釜/容器中 安装示意 管道安装 反应釜/容器安装 集成式交钥匙解决方案 LISICO 为质量管理提供了一个集成的交钥匙解决方案，该解决方案如下： 1..在线粘度测量： LISICO SRV 米线粘度计—-宽量程、内置温度测量的在线粘度测量设备 2. LISICO 过程监控器：先进的预测跟踪控制器，监视和控制过程条件的实时变化 3. 自动投配系统：4级自控系统，确保不受设定的粘度限制，并自动启动旁路阀或泵来添加混合成分 LISICO SRV 在线粘度计可以连续测量粘度(如果是SRD，则同时测量粘度和密度)。可以配置警报，通知操作员采取必要的行动，或者使用 RPTC (LISICO 预测性跟踪控制器)实现整个管理过程的完全自动化。在生产线上使用 SRV，可提高生产率、利润率并符合法规要求。LISICO 传感器具有紧凑的外形，可用于简单的 OEM 和改造安装。它们不需要维护或重新配置。无论传感器如何安装或安装在何处，都能提供准确和可重复的结果，无需任何特殊的腔室、橡胶密封件或机械保护。SRV 和 SRD 不使用耗材且不需要重新校准，操作非常简单，运行成本极低。 上海人和科学仪器有限公司 Shanghai Renhe Scientific Instrument Co.， Ltd. 卓越的传感器设计和技术 SRV 和 SRD 可用于工业标准工艺连接，例如”NPT， DIN 11851，法兰和Ｔ型夹头，允许操作员使用 SRV/SRD 替换其生产线中现有的温度传感器，从而提供非常有价值且可操作的工艺流信息，例如使用内置 Pt1000(可提供 DIN EN 60751 AA， A， B级)来精确测量温度。 满足您需求的电子产品 传感器电子装置可在变送器外壳和小型 DIN轨道安装，，可以轻松集成到生产线和机器内部的设备柜中。 电子和通讯选项 传感器电子设备中实现了多种模拟和数字通信方法，使得与工业 PLC 和控制系统的连接变得简单明了。 符合 ATEX 和IECEx标准 LISICO SRV & SRD 均通过用于危险环境的 ATEX 和 IECEx 认证。这些传感器符合与潜在爆炸性环境中使用的设备和保护系统的设计和构造有关的基本健康和安全要求。 LISICO 拥有的本安和防爆认证还允许对现有传感器进行定制，从而使客户避免了识别和测试替代产品相关的时间和成本，且交货时间仅为几周。 通过 ATEX (2014/34/EU)认证 LISICO 的 ATEX 认证传感器在欧洲和国际上均得到认可，符合ATEX 指令2014/34/EU，并获得了 Exia 的本安认证。 ATEX 指令规定了与健康和安全有关的最低和基本要求，以保护在危险环境中工作的工人。所有所过 ATEX 认证的零件均标有“CE”以表示符合要求。 公限有 ATEX 证书 IECEx 认证 LISICO 的安全传感器已通过 IECEx (国际电工委员会)的认证，可用于爆炸性环境中使用设备的相关标准。这是-一项国际认证，，可确保在危险区域使用安全合规。LISICO 传感器通过了 Exi 的本安认证。 IECEx 证书 建议的在线粘度计产品 LISICO SRV 在线粘度计和 SRD 度线粘度/密度计，直接在工艺流程中插入安装传感器以实时测量粘度或密度，无需旁路管线。具有应用所需的灵敏度以及在恶劣的操作环境中所需的可靠性，流速和振动不会影响测量的稳定性和准确性。它同样非常适合实验室中的质量控制测量。无需更改任何组件或参数，即可在整个范围内进行测量。 SRV 在线粘度计 SRD在线粘度/密度计 斗科和 ● 粘度范围广-监控整个过程 ● 在牛顿和非牛顿流体，单相流体中均可重复测量 ● 密封，所有不锈钢 316L润显部件 内置流体温度测量 紧凑的外形尺寸，易于在现有生产线中安装 易于清洁，无需维护或重新配置 单一仪器，可进行过程密度，粘度和温度测量 在牛顿和非牛顿流体，单相和多相流体汇总均可重复测量 全金属(316L不锈钢)结构 内置流体温度测量 ● 紧凑的外形尺寸，易于在现有管道中安装 易于清洁，无需维护或重新配置 上海人和科学仪器有限公司 技术销售热线：：44008-200-117 联系人：13918294437 (吴经理) 邮箱： info@renhesci.com 网址：www. renhe. net CMP浆料的粘度和密度在抛光操作中的重要性    浆料的粘度和密度用于评估颗粒在CMP浆料中的分散，因为颗粒大小和粘度存在关联。浆料的粘度取决于化学和机械成分。浆料应具有窄且均匀的粒度分布和均匀的密度。密度变化表明浆料不均匀，这会影响抛光效果。团聚和大颗粒可以通过搅拌机中的过滤器去除，但密度变化难以发现。比如，浆料颗粒符合规格并通过过滤器，经浓缩后运输，然后在晶圆厂用水或过氧化氢稀释。由于混合不充分，浆料桶底部的密度可能更高，这会导致缺陷。CMP的进料质量取决于工厂操作以及现场混合和存储，在线监测浆料密度可确保均匀的混合物输送到抛光垫。 LISICO用于半导体 CMP 浆料质量控制的解决方案    在线粘度/密度测量和控制，对于在制造过程中控制粘度/密度并确保关键特性完全符合多批次的要求至关重要，而不必依赖离线测量方法和取样技术。LISICO为过程控制和优化提供以下解决方案。……