光伏中膜厚及折射率测量检测方案(椭偏仪)

行业背景 光能发电是指利用光伏效应，将太阳能转化电能的发电模式。与水电、风电、核电等相比，太阳能发电没有任何排放和噪声，应用技术成熟，安全可靠。2015年我国光伏新增装机量约15GW，同比增长40%以上，全国光伏发电累计装机量约43GW， 超越德国成为全球光伏累计装机量最大的国家。 面临挑战 太阳能光伏电池材料主要有晶体硅材料，晶体硅材料是目前普遍使用的光伏发电材料，高效硅电池的生产建立在高质量材料和成熟的加工工艺基础上，硅电池工艺已近成熟，提高其光电转换效率主要靠单晶硅表面微结构处理和分区掺杂工艺。研究 SiO2/SiNx 等叠层对晶体硅表面的钝化作用，通过改变 SiO2与 SiNx 薄层厚度以及工艺条件，可增强了对硅片的钝化以及光陷作用。这样就涉及到薄膜的厚度、光学常数等关键参数的测量与表征的问题。此外化镉(CdTe)、钙钛矿等新型薄膜太阳能电池具有转换效率高、价格低廉、轻便可柔性的点，同样也涉及到薄膜厚度、光学常数等关键参数的测量与表征。 解决方案 通过 ME-L 穆勒矩阵椭偏仪/SE-L 光谱椭偏仪可以快速准确测量 SiO2/SiNx叠层或新型化镉、钙钛矿等光伏薄膜的厚度、光学常数等。采用集成 ME-L/SE-L 在线监测装备系统 PMS 可快速准确完成产品的测量任务之外，可降低生产成本并完美整合到生产工艺流程中。 1.对样件进行测试 建立样品光学模型选用样件 ●采用(Tauc-Lorentz模型)拟合 2.建立光学模型 光谱匹配结果 客户价值 通过 ME/SE 系列椭偏仪可以快速准确表征光伏薄膜的厚度、光学常数等；确保材料以及产品的品质。此外采用集成 ME-L/SE-L 在线监测装备系统 PMS可快速准确完成产品的测量任务之外，，可完美整合到生产工艺流程中，大幅度提高企业生产效率，带来更大企业价值。 行业背景   光能发电是指利用光伏效应，将太阳能转化电能的发电模式。与水电、风电、核电等相比，太阳能发电没有任何排放和噪声，应用技术成熟，安全可靠。2015年我国光伏新增装机量约15GW，同比增长40％以上，全国光伏发电累计装机量约43GW，超越德国成为全球光伏累计装机量最大的国家。面临挑战   太阳能光伏电池材料主要有晶体硅材料，晶体硅材料是目前普遍使用的光伏发电材料，高效硅电池的生产建立在高质量材料和成熟的加工工艺基础上，硅电池工艺已近成熟，提高其光电转换效率主要靠单晶硅表面微结构处理和分区掺杂工艺。研究SiO2/SiNx等叠层对晶体硅表面的钝化作用，通过改变SiO2与SiNx薄层厚度以及工艺条件,可增强了对硅片的钝化以及光陷作用。这样就涉及到薄膜的厚度、光学常数等关键参数的测量与表征的问题。此外碲化镉(CdTe)、钙钛矿等新型薄膜太阳能电池具有转换效率高、价格低廉、轻便可柔性的点，同样也涉及到薄膜厚度、光学常数等关键参数的测量与表征解决方案   通过ME-L穆勒矩阵椭偏仪/SE-L光谱椭偏仪可以快速准确测量SiO2/SiNx叠层或新型碲化镉、钙钛矿等光伏薄膜的厚度、光学常数等。采用集成ME-L/SE-L在线监测装备系统PMS可快速准确完成产品的测量任务之外，可降低生产成本并完美整合到生产工艺流程中。1.对样件进行测试2.建立光学模型