LED，OLED面板行业中膜厚及折射率测量检测方案(椭偏仪)

行业背景 2009年-2014年，全球平板显示行业收入从921.12亿美元增长至1，310亿美元，产值规模不断扩大，已经成为产值超过千亿美元的成熟产业。全球平板显示产业经过快速发展阶段后，预计随后近十年，全球平板显示市场的增长将趋于平缓。经过近几年的技术发展， OLED 屏幕终于成了业界追逐的新焦点。 OLED 材料具有全固态、主动发光、高对比度、超薄、低功耗、无视角限制、响应速度快、工作范围宽、易于实现柔性显示和 3D 显示等诸多优点，因此被业界认为是最有发展前景的新型显示技术之一。 OLED 目前主要应用在手机，但由于电视尺寸大部分集中在大尺寸上，因此成为 OLED 未来产值增长最主要的驱动力。 面临挑战 OLED 技术目前相对还不成熟，存在拼缝、成品率、成本高等问题，所以短期内对 LED 显示屏不构成威胁。这样势必加大 OLED 电致发光材料的研发投入，，以及生产工艺的流程控制，降低成本，来增加产品的市场竞争力。因此会涉及到 OLED 电致发光层的各项重要指标需要有效测量，确保其材料质量；在 OLED 生产工艺中涉及到工艺控制整合，这样一方面确保产品的品质，另一方面降低生产成本，从而提高产品竞争力以及企业的生产整合效率。 解决方案 ME-L 穆勒矩阵椭偏仪可以同时快速准确测量 OLED 电致发光层中多层膜的膜厚和光学常数等；采用集成 ME-L穆勒矩阵椭偏仪的在线监测装备系统PMS 可快速准确完成产品的测量任务之外，可完美整合到生产工艺流程中。 Electroluminescent ligh ( 。采用穆勒矩阵数据处理原理，一次可测量多达16个参数，快速完成材料特征参数的表征； ) .设置测量参数1-8s(可设置时间)快速完成测量过程； .根据内置的丰富光学模块，完成数据的拟合分析。 样件organic/Si 的-N值图 可获取不同测量点所对应波长位置的完整的折射率N值 通过下图可获取不同测量点所对应波长位置的完整的吸收系数K值 样件的膜厚： 编号 1 2 3 测量厚度(nm) 83.90 83.77 84.19 MSE (拟合偏差) 0.383 0.369 0.510 客户价值 通过颐光系列椭偏仪可以快速准确表征 LED 电致发光层中多层膜的膜厚和光学常数等重要参数，确保材料以及产品的品质。此外采用集成式在线监测装备系统 PMS 支持定制，可快速准确完成产品的测量任务之同时完美整合到生产 工艺流程中，大幅度降低企业生产成本并提高生产效率，确保产品的市场竞争力，实现企业价值最大化。 关联产品与配置 ME-L穆勒矩阵椭偏仪 行业背景   2009年-2014年，全球平板显示行业收入从921.12亿美元增长至1,310亿美元，产值规模不断扩大，已经成为产值超过千亿美元的成熟产业。全球平板显示产业经过快速发展阶段后，预计随后近十年，全球平板显示市场的增长将趋于平缓。经过近几年的技术发展，OLED屏幕终于成了业界追逐的新焦点。       OLED材料具有全固态、主动发光、高对比度、超薄、低功耗、无视角限制、响应速度快、工作范围宽、易于实现柔性显示和3D显示等诸多优点，因此被业界认为是最有发展前景的新型显示技术之一。OLED目前主要应用在手机，但由于电视尺寸大部分集中在大尺寸上，因此成为OLED未来产值增长最主要的驱动力。面临挑战   OLED技术目前相对还不成熟，存在拼缝、成品率、成本高等问题，所以短期内对LED显示屏不构成威胁。这样势必加大OLED电致发光材料的研发投入，以及生产工艺的流程控制，降低成本，来增加产品的市场竞争力。因此会涉及到OLED电致发光层的各项重要指标需要有效测量，确保其材料质量；在OLED生产工艺中涉及到工艺控制整合，这样一方面确保产品的品质，另一方面降低生产成本，从而提高产品竞争力以及企业的生产整合效率。解决方案   过ME-L穆勒矩阵椭偏仪可以同时快速准确测量OLED电致发光层中多层膜的膜厚和光学常数等；采用集成ME-L穆勒矩阵椭偏仪的在线监测装备系统PMS可快速准确完成产品的测量任务之外，可完美整合到生产工艺流程中。通过下图可获取不同测量点所对应波长位置的完整的吸收系数K值