半导体减压器,减压阀门中泄漏检测检测方案(氦质谱检漏仪)

伯东企业（上海）有限公司HAKUTO ENTERPRISES (SHANGHAI) LTD.TEL: (86) 21-5046 3511 FAX: (86) 21-5046 1490 上海伯东氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)减压器检漏 减压器, 又称减压阀门, 是将高压气体降为低压气体, 并保持输出气体的压力和流量稳定不变的调节装置. 主要应用于半导体管路或实验室压力控制. 减压器本身如果出现泄漏, 会直接导致高压气体泄漏, 一旦气体属于有毒有害气体, 将导致严重的生产事故! 因此减压器在出厂前必须经过严格的泄漏检测, 氦质谱检漏法 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)与传统泡沫法对比, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点, 在真空模式下, 可以显示 1X10-12 mbar l/s 的漏率值, 上海伯东氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61" \t "_blank​)现已广泛应用于减压阀检漏   上海伯东减压器检漏客户案例: 某公司生产减压器, 主要用于半导体管路中气体减压, 调节气体压力, 减压器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S, 经过伯东推荐, 最终选择前级泵为干泵的移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-detail.php?id=387​) 减压器检漏方法: 选用氦质谱检漏仪真空模式进行检漏, 减压器直接与检漏仪进气口相连, 用喷枪在怀疑有漏的地方进行吹扫, 鉴于客户信息保密, 更详细的减压器检漏 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-detail.php?id=519" \t "_blank​)应用案例, 欢迎拨打客服热线: 021-5046-3511 上海伯东德国 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​) ASM 390 检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, 满足半导体行业要求! 检测气体: 4He, 3He, H2 最小检测漏率: 真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s 对氦气的抽速: 10 l/s 前级泵抽速: 35 m3/h 氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)应用推荐: 半导体管路配件检漏 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-detail.php?id=512​) 应用于半导体行业的高端不锈钢管, 配件, 阀门和歧管, 产品漏率值需要达到 10-9 mar l/s. 采用氦质谱检漏仪 ASM 390 进行检漏 流量计检漏 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-detail.php?id=242" \t "_blank​) 采用氦质谱检漏仪 ASM 340 对流量计的主体金属外壳进行检漏, 外壳焊缝和接头部位都需要进行检漏 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​) 结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)的技术优势, 上海伯东德国 Pfeiffer 推出全系列新型号氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​), 从便携式检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)到工作台式检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)满足各种不同的应用. 氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)替代传统泡沫检漏 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)和压差检漏 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​), 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 氦质谱检漏仪 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)满足单机检漏, 也可集成在检漏 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=61​)系统或 PLC. 推荐氦质谱检漏仪应用 >> (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-list.php?sid=101" \t "_blank​) 鉴于客户信息保密, 若您需要进一步的了解减压器 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-detail.php?id=519" \t "_blank​)检漏 (​http:​/​​/​www.hakuto-vacuum.cn​/​product-detail.php?id=519" \t "_blank​), 请参考以下联络方式 上海伯东: 叶小姐                                  台湾伯东: 王小姐 T: +86-21-5046-3511 ext 109             T: +886-3-567-9508 ext 161 F: +86-21-5046-1490                           F: +886-3-567-0049 M: +86 1391-883-7267                       M: +886-939-653-958 ec@hakuto-vacuum.cn                        ec@hakuto.com.tw 上海伯东版权所有, 翻拷必究！ 上海伯东氦质谱检漏仪客户案例: 减压器主要用于半导体管路中气体减压, 调节气体压力, 减压器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S减压器检漏方法: 选用氦质谱检漏仪真空模式进行检漏, 减压器直接与检漏仪进气口相连, 用喷枪在怀疑有漏的地方进行吹扫