硅片中表面形貌和表面粗糙度检测方案(扫描探针)

伯东企业(上海)有限公司 HAKUTO ENTERPRISES (SHANGHAI) LTD. TEL： (86)21-5046 3511 FAX： (86)21-5046 1490 标题：英国 NanoMagnetics 原子力显微镜硅片表面形貌测量 上海伯东代理的英国 NanoMagnetics 原子力显微镜硅片表面形貌测量应用，某高校老师通过原子力显微镜进行硅片表面形貌测量和表面粗糙度测量，便于后续进行拉曼增强. 待测量硅片图片： 待提供 测试方法：选用上海伯东英国 NanoMagnetics 原子力显微镜 ezAFM 进行测试.将样品放置在样品台，通过系统软件自动控制. 测试条件 图像参数 品牌 英国 NanoMagnetics 原子力显微镜型号 ezAFM 模式 动态模式 分辨率( pixels) 512 x 512 悬臂类型 ACLA from App Nano Set RMS 1.0 VRMS Free RMS 2. 0 VRMs 原子力显微镜ezAFM 性能 HAKUTCQ OMAACGNETICSIN 扫描范围 120x120x40um或 40 x40x4um 模式 接触模式，动态力/相位成像模式，侧 向力显微镜 LFM 和磁力显微镜 MFM 模式 噪声基底 65 fm √Hz 分辨率 2um 集成光学显微镜 全高清摄像机 390×230um， 2516x1960， pixels， 30fps， 样品尺寸 10 x 10 x 5mm (可配置为不限制样品尺寸) HAKUTO ENTERPRISES (SHANGHAI) LTD. TEL： (86) 21-5046 3511 FAX： (86) 21-5046 1490 硅片表面形貌成像图 硅片表面粗糙度成像图 Aveeraage(Ra) 8.83 nm Reot Mean Squre ((Rq) 9.85 nm Skewness (Rsk) -0.284 Kurtosis (Rku) 1.846 Waximum (p) 53.95nm Minimum (Rv) 22.79 nm Peak To Peak (Rt) 31.16 nm Ten Point Height (Rz) 30.59 nm Peak To Peak (Rt) Avedrage (Ra) 9.80 nm Ten Point Height (Rz) 32.25 nm 10.91 nm TSkewness ((Rsk) 0.314 Kurtosis (Rku) 1.621 Maxinum (Rp) 59.44 nm 英国 NanoMagnetics 仪器1998年在牛津成立，作为原子力显微镜 AFM 制造商，主营环境扫描探针显微镜 SPM，低温扫描探针显微镜 LT-SPM，霍尔效应测量系统等，原子力显微镜适用于产品表面特征分析，生命科学，原位成像，材料科学，薄膜等领域.广泛应用于牛津大学，其坦福，京都大学， NASA 等学府和科 伯东企业(上海)有限公司 HAKUTO ENTERPRISES (SHANGHAI) LTD. TEL： (86)21-5046 3511 FAX： (86) 21-5046 1490 研院所. 若您需要进一步的了解详细信息或讨论，请参考以下联联方式： 上海伯东是德国Pfeiffer 真空设备，美国KRI 考夫曼离子源，美国inTEST 高低温冲击测试机，美国Ambrell感应加热设备和日本SINS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.我们真诚期待与您的合作! PFEIFFER：) VACUUM Polycold@kailKaufman H HVA. LLCN & ROBINSON NSP HDOCTIONMEATRGSOWTO Halouto 上海伯东：叶女士台湾伯东：王女士T：+86-21-5046-3511 ext 109T： +886-03-567-9508 ext 161F：+86-21-5046-1490F：+886-03-567-0049M： +86 1391-883-7267M：+886-939-653-958ec@hakuto-vacuum.cnec@hakuto.com. twwww.hakuto-vacuum.cnwww. hakuto-vacuum. com. tw 上海伯东版权所有， i翻拷必究! 上海伯东代理的英国 NanoMagnetics 原子力显微镜硅片表面形貌测量应用, 某高校老师通过原子力显微镜进行硅片表面形貌测量和表面粗糙度测量, 便于后续进行拉曼增强.硅片表面形貌成像图