离子溅射仪中真空检测方案(离子溅射仪)

   离子溅射仪的常见故障真空异常分为以下几种情况：一，离子溅射仪抽不上真空的故障排除方式：        1.首先检查真空泵排除基本可控情况，听真空泵的声音是否异常，如无异常检查真空泵引线和电磁阀引线的插头处是否连接正常，插头里的排针有误脱落或者接触不良。检查真空泵的与真空管道的连接，管道应于真空泵的进气口连接，不要误接到排气口。        2.检查上盖和玻璃钟罩是否放端正，玻璃钟罩和下底盘的边缘基本平齐，上盖和钟罩不能有错位。真空管道与仪器接口处的卡箍或者喉箍是否卡紧。开机，如果真空表还是没有走动，请立即关机。继续做排除工作。        3.用kF16的盲堵配合KF16的橡胶圈（没有可用橡皮塞代替），将仪器下底盘的真空排气口堵住，开机，观察真空表是否走动。二、真空表打表：        1.真空表向左或者向右打表，可以拆开前面板，找到一个白色8芯插座，看插座是否接触不良。如果仍然打表，可将真空规管的黑色插头拔掉，看是否打表。三，真空忽高忽低：        1.将真空室里的样品取出，并清理真空室，空机试一次。         此方案只适用于北京意力博通技术发展有限公司（北京博远微纳科技有限公司）的离子溅射仪使用。