MEMs，半导体器件中表面形貌，元素成分检测方案(扫描电镜)

是德科技FE-SEM 8500B在MEMs行业的应用 是德科技的 FE-SEM 8500F&&采用热场发射电子枪，为100用户提供高亮度、高分辨的成像性能。独特的设计使其可以在1kV条件下达到优于 10nm 的分辨率。创新的全静电透镜设计保证了重复性，并无需定期的调校。 FE-SEM 8500 提供多种成像模式：包括二次电子成像、背散射电子成像和形貌成像 一世界上唯一的小型场发射扫描电子显微镜MEMS 典型应用： ● 高分辨率 高亮度 一表面高分辨成像 样品无需喷金喷碳处理 -表面及内部结构分析 ● 无需定期调校 一成分分析 性能稳定 一各种失效分析 使用简单 ● 后期使用成本低 内置能谱仪 MEMS accelerometer 1000V 12.960X WD：2.27mm 2um- AFM Cantilevers 从仿真直到一致性测试的解决方案 一 多样的模块化的解决方案 全套高速、高精度的测试平台 针对您的特殊需求专门定制的测试方法 更多信息请访问： www.keysight.com/find/nano HARDWARE+SOFTWARE+PEOPLE=KEY INSIGHTS 是德科技FE-SEM 8500B在MEMs行业的应用是德科技的FE-SEM 8500采用热场发射电子枪，为用户提供高亮度、高分辨的成像性能。独特的设计使其可以在1kV条件下达到优于10nm的分辨率。创新的全静电透镜设计保证了重复性，并无需定期的调校。FE-SEM 8500提供多种成像模式：包括二次电子成像、背散射电子成像和形貌成像。—世界上唯一的小型场发射扫描电子显微镜高分辨率高亮度样品无需喷金喷碳处理无需定期调校性能稳定使用简单后期使用成本低内置能谱仪MEMS 典型应用：            –– 表面高分辨成像            –– 表面及内部 结构分析            –– 成分分析             –– 各种失效分析MEMS accelerometerAFM CantileversResonators