金属样品（镍）中进行初步抛光，获得相对平整的表面，在扫描电镜下发现机械划痕和表面污染严重检测方案(电镜部件)

离子束研磨金属样品观察电子通道衬度图像 2015-05-03 徕卡显微系统 (​http:​/​​/​mp.weixin.qq.com​/​javascript:void(0);​) 徕卡显微系统 徕卡显微系统 微信号 Leica-Microsystems 功能介绍 徕卡显微系统是全球显微镜与科学仪器的领导者，提供德国徕卡160余年始终如一的高端制造工艺和专业的售前售后服务，为您度身定制显微解决方案。关注我们，最新科学界动向、业内研讨会和产品限时优惠等您徕发现。 金属镍的扫描电镜电子束通道衬度图像 扫描电镜的电子通道衬度（Electron channeling contrast，简称ECC）的图像信号来于背散射电子。对于成分均匀的金属或者其他晶体材料，背散射电子的强度取决于入射电子束与晶面的相对取向，当入射电子束与晶面之间的夹角较大，背散射电子较容易逃逸出样品表面，此时背散射电子信号较强，在图像中显示更亮。 扫描电镜电子通道衬度的图像信号深度与加速电压值相关，通常来源于100nm以内的表层。因此要获得清晰的SEM-ECC图像，样品表面需要洁净且没有机械应力损伤。采用Leica EM TIC 3X 氩离子平面抛光方式，可以获得大面积的SEM-ECC图像观察区域。 实验中先对金属镍样品进行初步抛光，获得相对平整的表面，在扫描电镜下发现机械划痕和表面污染严重。图像如下： 机械抛光后的二次电子图像800倍 机械抛光后的背散射电子图像800倍 使用Leica EM TIC 3X三离子束切割仪的平面旋转抛光台抛光大概90分钟后，整片数毫米的样品在电镜下已经看不到划痕，无论在二次电子图像还是背散射电子图像下都非常平整。 离子抛光后的宏观图像35倍 离子抛光后的边缘区域图像1000倍 任意选择一区域进行放大观察，在2000倍以上晶粒轮廓就明显的显现出来了。 离子抛光后的SEM-ECC图像2000倍 由于此金属镍样品的晶粒尺寸非常小，需要放大到2万倍以上才能观察其中小晶粒的边界。为了获得更高空间分辨率的SEM-ECC图像，电镜拍摄过程中使用低加速电压背散射电子成像模式。在3万倍和5万倍的图像下，尺寸在10nm以下的孪晶结构清晰可见！ 离子抛光后的SEM-ECC图像30,000倍 离子抛光后的SEM-ECC图像30,000倍 离子抛光后的SEM-ECC图像50,000倍 注：孪晶是指两个晶体（或一个晶体的两部分）沿一个公共晶面（即特定取向关系）构成镜面对称的位向关系，这两个晶体就称为"孪晶"，此公共晶面就称孪晶面。孪晶的形成与堆垛层错有密切关系。孪晶的形成后，孪生界会降低位错的平均自由程，起到硬化作用，降低塑性。 相关设备 Leica EM TIC 3X三离子束切割仪 配有平面抛光样品台 离子束研磨金属样品观察电子通道衬度图像 金属镍的扫描电镜电子束通道衬度图像 扫描电镜的电子通道衬度（Electron channeling contrast，简称ECC）的图像信号来于背散射电子。对于成分均匀的金属或者其他晶体材料，背散射电子的强度取决于入射电子束与晶面的相对取向，当入射电子束与晶面之间的夹角较大，背散射电子较容易逃逸出样品表面，此时背散射电子信号较强，在图像中显示更亮。 扫描电镜电子通道衬度的图像信号深度与加速电压值相关，通常来源于100nm以内的表层。因此要获得清晰的SEM-ECC图像，样品表面需要洁净且没有机械应力损伤。采用Leica EM TIC 3X 氩离子平面抛光方式，可以获得大面积的SEM-ECC图像观察区域。 实验中先对金属镍样品进行初步抛光，获得相对平整的表面，在扫描电镜下发现机械划痕和表面污染严重。图像如下：机械抛光后的二次电子图像800倍机械抛光后的背散射电子图像800倍 使用Leica EM TIC 3X三离子束切割仪的平面旋转抛光台抛光大概90分钟后，整片数毫米的样品在电镜下已经看不到划痕，无论在二次电子图像还是背散射电子图像下都非常平整。离子抛光后的宏观图像35倍离子抛光后的边缘区域图像1000倍任意选择一区域进行放大观察，在2000倍以上晶粒轮廓就明显的显现出来了。离子抛光后的SEM-ECC图像2000倍由于此金属镍样品的晶粒尺寸非常小，需要放大到2万倍以上才能观察其中小晶粒的边界。为了获得更高空间分辨率的SEM-ECC图像，电镜拍摄过程中使用低加速电压背散射电子成像模式。在3万倍和5万倍的图像下，尺寸在10nm以下的孪晶结构清晰可见！离子抛光后的SEM-ECC图像30,000倍注：孪晶是指两个晶体（或一个晶体的两部分）沿一个公共晶面（即特定取向关系）构成镜面对称的位向关系，这两个晶体就称为"孪晶"，此公共晶面就称孪晶面。孪晶的形成与堆垛层错有密切关系。孪晶的形成后，孪生界会降低位错的平均自由程，起到硬化作用，降低塑性。 相关设备 § Leica EM TIC 3X三离子束切割仪