薄膜样品中喷金后表面形态检测方案

溅射仪喷金前后样品的电镜图像对比 -唐辉 摘要：想要得到一个好的效果，不仅仅是调整仪器参数，前处理更重要。关于样品处理方面一直没有得到好的方案。下面对于单种样品的处理方法做了一个比较。 测试仪器：台式扫描电镜 仪器型号：Phenom G2 pro 仪器参数：见图标 测试结果：见图片 比较样品的前处理过程，所以仪器的参数保持不变。 首先比较样品的切割与冷冻脆断比较（未喷金，同一批样品） 冷冻脆断样品 手术刀切割样品 样品未喷金与喷金比较（采用同一个样品） 未喷金样品 喷金样品 喷金时间长短比较（同一个样品） 喷金120s（实际大概90s） 喷金180s（实际150s左右） 正常喷金与电流过大的比较（同一个样品） 正常喷金样品（时间180s） 电流过大出现闪电喷金 结论： 1、中空纤维膜的导电性弱，在低倍数上可以选择不喷金，高倍下需要喷金处理。 2、样品需要脆断，切割样品会破坏结构。 3、喷金时间设置成180S的状态下效果较好。 4、电流过大，出现闪电喷金会灼伤样品的表面，如出现闪电情况，需要重新制样。 5、好的镀膜设备对于样品观测效果起到至关重要的作用。