日立高新场发射扫描电子显微镜用SU8220系列观察太阳能薄膜电池

日立行夕HITACHI对太阳能薄膜电池的观察_1 (b) 截面切片：掰断的 样品由：旭硝子公司(AGC)提供 SU8220 1.0kV 1.9mm x25.0k HA100(T) 2.00um SU8220 3.0kV 1.9mmx25.0k AE/EBIC 2.00um 铜钢家硒薄膜太阳能电池板以其高转换率和低成本备受期待。 由于各层的颗粒尺寸和层结构质量会影响发电表现，因此用SEM观察断面结构非常重要。 图片(a)是高角度背散射电子对太阳能电池断面的观察图片，会发现太阳能电池含基板是由五层构成的。图片.(b)是同一视野的感生电流像，比较暗的地方被认为是受凸凹影响。图片(c)是将EBIC图像和HA-BSE图像合并并进行伪彩处理的效果，没有产生电流的地方就很容易被判断出来了。 ZnO CdS CIGSMo Glass Substrate a) (b) 断面制制：IM4000 样品提供：旭硝子公司(AGC.) SU8220 1.0kV 1.9mm x25.0k HA100(T) 200um SU8220 3.0kV 1.9mm x25.0k AE/EBIC 2.00um 为了减少不规则表面的影响，离子打磨了断面，如图(a)((b)(c)所示。在HA-BSE图片(a)中，本来通过掰断很难看到的结晶对比度也可以看到。通过EBIC图片(b)和经过合成并伪彩处理的图片(c)，可以发现产生电流的区域紧挨CdS层。像这样，具备多种信号检测功能的SU8220和IM4000配合，可以对太阳能薄膜电池断面结构做多种分析。 (b) 样品提供：旭硝子公司(AGC) 此外，图(a)的EBIC的信号波形可以看出电动势的强度分布。而图(b)则是提取自红色方框部分的3D重现效果图。结果就是， EBIC强度分布可以被形象的确认。 SUV .mm x AEEBICCopyrightOHitachi High-Technologies Corporation All Rights Reserved.