CVD PVD 硬质薄膜涂层中冲蚀磨损检测方案

被膜：基材D上TiC/TiN D 2層=一元彳夕 基材：超硬材 区1 TiN/TiC 多層膜D摩耗少77 結果 1 被膜上①基材D強亡 最表面上)2.8um飞D(a)部法 TiN 層飞直線飞飞书9、安定龙強D膜膜才飞小。D後D TiC 移移行寸石界面(b)部厚厚0.1~0.2um川打龙緩緩中力曲線見取取石。GD後D(c)部 TiC 層壮膜厚 0.6um七薄<、緩中曲線左径飞基材七接統壳飞九石。 TiN D摩耗率 0.134 u m/g飞、TiCD摩耗率 0.063 u m/g七尔口飞书9、TiCD任办2.1倍七強八膜飞石二七分分石。基材七 TiC 界面(d)部弱部分办9、D後統<直部飞摩耗率办0.041um/g七八飞V本。本試験D場合K基基材D力办強八七八5二七办言之石。 右D囡汇材料深方向D摩耗率变化示寸。(a)TiN層表面上9于一一定D摩耗率交示L安定L龙膜質飞步石。(c)TiC 層七D中間位置寸石(b)部緩緩力加忆变化飞9、製膜時D力交換汇上飞発生L龙界面D強办示九二D中間層注急激变化伴V七加心、質D良傾斜層飞之七示石。(c)部壮安定L龙摩耗率交示寸領域七九七存在世寸、乙D全体办傾斜層D上5強分布示飞八石。主、基材七D界面非常亿弱部分(d)見飞取九石。 区22深主方向^D摩耗率分布 (b)部 TiN 七 TiC D界面示八石。TiN 七 TiC D摩耗率士注2.1倍D違八力步石办、緩中力曲線下接統老飞、八D厚主注0.4um七請办取扎石。摩耗率D变化力緩中丫石七5二七、材料強度度残留忘力D觀点加G質D良八傾斜層傾判断九石。(d)部壮 TiC 七WC 办G尔石基材D界面示飞石。 二D範囲忆急激摩耗率水大<石範囲办存在寸石二七力、口七又上、密着性D弱八層D発生、力又D組成中、温度管理亿上弱八質D材料加生成九飞石可能性办考之石。 二九七法逆汇、層間D忘力緩和寸石目的飞中間層形成作9之A不石可能性考之石二七加下老石。理想的的 TiC 摩耗率加GWC摩耗率主飞徐汇变化寸石二七望L。 4) 基材D变質 (e)部仕基材D WC示L八石。被膜前DWC D位置、寸扫表表面七被膜後D界面办摩耗率分布拾飞七D位置置一致寸寸力力明確段差另八八特定寺定。LL界面(d)部邵摩耗率办高部分办存在飞书9、二D部分办 TiC D初期变質層D办下石石七断定飞老八。WCD表面0.1~0.2um办本来D強上七弱<变質L飞八石七考之之石。 之入口七又D条件中飞力D質中温度汇上構成元素D变化办起吉飞小八七七考之之石。 5) 膜厚 2層D被膜飞D界面明確飞龙、膜厚正確揭示寸石二七下丫。界面D变化加味加味膜厚七莫飞、TiN層飞2.8u m、TiC 層飞0.6um、合計飞3.4um七表示寸石。 6 元素分析左加之龙考察 GD-OES(少口一放電発光分光分析)用用飞薄膜表面力G深主方向元素分析行一大結果区示寸。 TiN 層丫V最表面法Ti七ND比率办異石办、2.4um飞任于一定D比七才、九上深<石汇L办ND比率率减少少、代9C力增加L飞二七办分办石。二D領域法、摩耗率办緩中力亿变化寸石地点七一致L飞书、傾斜層飞b石二七D説明玄寸石七D飞b石。乙D後D TiC領域飞、Ti七C龙飞儿C(PVD) ( 被膜D層構成複雜多層七尔夕飞\飞、解积D中9方飞法5層又3層七七取之九石。a， c， e 办意冈九龙3層七寸石七才九芒九D界面b， d八界界面生成九飞八石。意区九大a， c， e 膜壮深方向忆直直線的摩耗率力 確認誌九均質二一元彳少七尔飞小石。基 材七D界面f部屯石中办曲線結飞9力緩和妃役立飞石七判断飞石。 九 ZD被膜D摩耗率上基材D摩耗率低 二七七示亡才飞石。合膜厚享3um七尔石。 ) 投射粒子子(q) 区6刀A摩耗夕77 7廿B摩耗耗77 区8 廿少儿C摩耗汐7 4)艹>D (PVD) A部D被膜七c部D被膜忆少LD摩耗率差办中間b部队界面引老DD摩耗率变化办見飞取九石。口七人D都合飞b部办発生L龙D飞全体一層D被膜莫七判断飞飞石。基材e部七D界面d部石中办女曲線亿一飞石七判断九、心力緩和功行飞石七言之。膜厚絕合下6.6um七厚部類属寸石。 3層構造被膜七夕飞石。表層被膜Da部摩耗係数低下目的七判断老強弱<膜厚注1.1um 飞石。2層目被膜Dc部力強<尔一飞被膜0.4um飞飞一元。3層目被膜下地处理七忘力緩和玄兼扣膜上判断九、工口一沙’強弱生成層七飞V丫、膜厚注0.6um飞一。各層D界面b， d，f部亿特特别状態注見受九九。基材D工口一沙>強強D尔一飞八石。膜厚享寸合合2.1um七尔飞八石 6)艹>儿F(PVD) 摩耗率飞判定九石被膜D層数6層七九。意冈龙層数D力、乙九七屯結果七L飞D多層小判判飞术。 表面上弱→強→弱小→強層七交互存在L、強層D被膜薄。基材七D界面亿当龙石f部加強層飞構成之飞石二七办特長的飞石。基材D工口一沙3>強弱<、八彳又鋼七同等飞一。 ( 膜厚絕合合2.2 um七尔一飞。 ) 投射粒子量(g) 网9艹刀D摩耗7 区10 廿儿E摩耗夕7 区11 沙儿F摩耗少77 7)給合評価 区12 摩耗夕刁比較 艹儿 膜厚 (um) 摩耗率 (um/g) 被膜 基材 A 2.2 a0.14，b0.035 ， c0.054 0.11 B 0.4 a0.041，b0.14 0.017 C 3.0 a0.18， b 0.043， c 0.11，d0.034， e0.13 0.016 D 6.6 a0.22，b0.40，c0.22 0.025 E 2.1 a0.38，b0.077， c 0.028 ， e 0.17 0.028 F 2.2 a 0.33， b 0.053， c 0.11 ， d0.055， e0.14 ， f0.053 0.17 *被膜摩耗率艺牛少夕：：多層膜代2層D摩耗率採用、単層又近八被膜壮表面膜D摩耗率採用用比較L大。 *基材摩耗率艺少牛少：基材D摩耗曲線办直線亿石部分摩耗率七L飞採用 区13 摩耗率牛少夕 考察 ①工具D使用目的的合合世層構成成設設計九飞飞石二七上判明L。 ②界面七呼九石層間汇異常摩耗率注見当小。成膜膜口七七又充分分口卜口一儿儿飞小石龙的七考之石。 ( ③ 儿FD基材材铁系七思思石石一一彳沙夕層構成办独特設計七尔飞八石二七办判 明L。 ) ( ④ 本摩耗率宁一夕七、深方向^D元素分析七饼用寸石二七飞、材質七機能D関係評価寸石七办可能七考之石。 ) ⑤本摩耗率率一夕七実際D加工工場飞D寿命命切切味七一夕七整合合取取石七飞、上正確評価水可能七考之九石。