MDP少子寿命测试仪 | 铁浓度测定

有了MDPingot和MDPmap系列，就可以全自动地测量砖块和硅片中的铁浓度，而且分辨率非常高。铁硼对解离前后的寿命测量是一种**使用的测定硅片中铁的方法。在高掺杂浓度的掺硼硅中，因为它被用于光伏应用，几乎100%的电活性铁以FeB对的形式存在。在有足够能量的光照下，这些铁对可以在Fe和B中解离。这个过程是可逆的，在一段时间后，所有的FeB对都会再次结合。FeB和Fei有不同的重组特性，因此解离对测量的寿命有影响。在这种影响下，铁的浓度可以通过以下方式确定：对于铁的测定，使用了一个校准系数C，它取决于注入、掺杂浓度和陷阱浓度，这在多晶硅中必须加以考虑。通过MDP，可以对多晶硅和单晶硅进行高分辨率的铁浓度测定，并且由于模拟和多年的研究，还具有很高的精度。照明前的寿命图和产生的铁图关于铁的测定和校准系数的依赖性的更多信息，请阅读：[1] S. Rein and S. W. Glunz, Journal of Applied Physics 98 (2005).[2] N.Schüler, T.Hahn, K. Dornich, J.R. Niklas, Solid State phenomena to be published陷阱浓度测定的工具MDPmap单晶和多晶晶片寿命测量装置......MDPpro单晶和多晶晶片和晶砖寿命测量装置......MDPspot低成本台式寿命测量系统，用于在不同制备阶......铁浓度测定 铁浓度的精确测定是非常重要的，因为铁是硅中最丰富也是最有害的缺陷之一。因此，有必 要尽可能准确和快速地测量铁的浓度，而且要有很高的分辨率，最好是在线测量。 有了 MDPingot 和 MDPmap系列，就可以全自动地测量砖块和硅片中的铁浓度，而而且分辨 率非常高。铁硼对解离前后的寿命测量是一种广泛使用的测定硅片中铁的方法。在高掺杂浓 度的掺硼硅中，因为它被用于光伏应用，几乎100%的电活性铁以 FeB 对的形式存在。在有 足够能量的光照下，这些铁对可以在 Fe 和B中解离。这个过程是可逆的，在一段时间后，所有的 FeB对都会再次结合。FeB 和 Fei 有不同的重组特性，因此解离对测量的寿命有影响。在这种影响下，铁的浓度可以通过以下方式确定： 对于铁的测定，使用了一个校准系数C， 它取决于注入、掺杂浓度和陷阱浓度，这在多晶硅 中必须加以考虑。通过 MDP， 可以对多晶硅和单晶硅进行高分辨率的铁浓度测定，并且由 于模拟和多年的研究，还具有很高的精度。 照明前的寿命图和产生的铁图 关于铁的测定和校准系数的依赖性的更多信息，，请阅读： [1] S. Rein and S. W. Glunz， Journal of Appl i ed Physics 98 (2005). [2] N.Schuiler， T.Hahn， K. Dornich， J.R. Niklas， Solid State phenomena to be published 陷阱浓度测定的工具 MDPmap 单晶和多晶晶片寿命测量装置...... MDPpro 单晶和多晶晶片和晶砖寿命测量装置...... MDPspot 低成本台式寿命测量系统，用于在不同制备阶......