硅太阳能电池中结构检测方案(扫描电镜)

综述： 太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”，是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它只要被满足一定照度条件的光照到，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。在物理学上称为太阳能光伏。太阳能芯片的表面微观形貌、原料和工艺对电池电性能影响很大，需要扫描电镜进行观测，从而控制电池质量。 仪器介绍： EM科特扫描电镜，根据样品仓大小或拓展分析附件能力，分为 CUBE系列台式扫描电镜、GENESIS小型立式扫描电镜、VERITAS大型扫描电镜。 试验方法： 取不同工艺进程的电池芯片直接放入扫描电镜中观察。快速观察模式，照相时间 10s 结论： EM科特扫描电镜，可满足硅太阳能电池制造工艺控制检测需要。采用CUBE台式扫描电镜或GENESIS小型立式扫描电镜，需要切割芯片。使用VERITAS 大样品仓扫描电镜可观察整块芯片，无损检测。 1、晶圆制绒结构扫描电镜图像 2、晶圆表面Saw damage etching 3、铝浆电极扫描电镜图像 EM科特一扫描电子显微镜 3、银浆电极扫描电镜图像 20000x 50000x 100000x 纳米银粉颗粒 服务热线： 官网： www. emcrafts. com. cn 综述：太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”，是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它只要被满足一定照度条件的光照到，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。在物理学上称为太阳能光伏。太阳能芯片的表面微观形貌、原料和工艺对电池电性能影响很大，需要扫描电镜进行观测，从而控制电池质量。 仪器介绍：EM科特扫描电镜，根据样品仓大小或拓展分析附件能力，分为 CUBE系列台式扫描电镜、GENESIS小型立式扫描电镜、VERITAS大型扫描电镜。 试验方法：取不同工艺进程的电池芯片直接放入扫描电镜中观察。快速观察模式，照相时间 10s 结论：EM科特扫描电镜，可满足硅太阳能电池制造工艺控制检测需要。采用CUBE台式扫描电镜或GENESIS小型立式扫描电镜，需要切割芯片。使用VERITAS 大样品仓扫描电镜可观察整块芯片，无损检测。