物料 处理前表面能(mN/m) 处理前 处理后表面能(mN/m) 处理后 RB005 38 105 RB002 28 RB002 105 MS-37 小于28 105 MS-35 小于28 AS 105 S-3 MS-28 小于28 105 IP015 28 105 Iors IP014 38 ZP01 105 cher IP013 38 IPoi 105 7P0 HOVY47 72 HoN97 105 Hov/47 CMP026 小于72 026 105 (p020 CMP009 小于72 Q3 105 CMP030 小于72 105 0050 注 RB002, RB005对温度敏感,需要控制工艺,其它物料可以同一工艺处理表面能数值越大,胶水的平铺性越好,表面亲水能力越好,粘接性越好表面能最大数值105mN/m CMP材料有孔,处理前表面能较高 FemtoPlasma 工艺:100W 0.3~0.5mbar, 5mins