废气 和环境空气中挥发性有机物检测方案(其它车载设备)

万机仪器有限公司 MKS MultiGasTM 6030傅利叶变换红外光谱分析仪 美国万机仪器有限公司(MKS Instruments， Inc)成都益康仪器国际贸易有限公司(ecom)苟超 15315555588 描述 MKS MultiGasTM 6030傅利叶变换红外光谱分析仪是以傅利叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控，气体纯度和组成分析，环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。MultiGasTM 6030傅利叶变换红外光谱分析仪能分析含有高达40%水的气流，能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱，故省出了气体筒的成本。另外，操作者也会发现MultiGasTM 6030傅利叶变换红外光谱分析仪操作简便，易于维护。 MultiGasTM 6030傅利叶变换红外光谱分析仪由专利保护的2102傅利叶变换红外制成分光计，高光通量取样单元，，专业分析软件及独立的定量光谱库组成。MultiGasTM6030收集高分辨率的红外光谱与定量光谱库分析，提供绝大多数气体及水蒸气的高精度，高灵敏度测量。 ●10ppb-100%灵敏度对于绝大多数有毒有害气体 ●易于移动从一处移到另一处，设置仅需几分钟 ●同时分析和显示多达30种气体 ●分析仪储存了校准光谱，省去了气体筒的成本 取样气体在进入分析室前加热并维持恒定温度 应用 ●烟囱监测器 工艺监测改进和优化 空气环境分析 光谱分析 Multigas的分析器有个具有定量和多功能的分析软件，它能同时分析和报道许多混合物的浓度，这个能在个人电脑上运行的软件，能对分析器直接量测到的气体温度和压力的变化进行自动修正。样本的收集和分析在一秒内完成，进行瞬时分析。 ( 专利保护的线性检测器，确保所有分析仪维持在相同的校准条件下 ) 频率和分辨率诊断，确保校准恒定 提供自动温度和压力补偿以确保分析精度 ●用户操作简便软件界面，稍加培训即可操作 气体纯度分析 燃烧排放监测 选择性硅整流催化还原性能监测 整个数据整理过程中， MultiGas 软件一边计算SETUP里面选择气体的浓度，一边不断的收集和描绘光谱。显示形式包括浓度历史的图表和列表形式，测得的光谱和残余光谱。这个残余光谱能被用来确定分析的误差，使得QA/QC变得简单和真实。当解决了所有被提及的光谱后，残留光谱就描绘“剩余的”光谱信息一次。一旦光谱被收集和保存，这些光谱可以在任何时候利用同样或不同的零点设定进行再工艺。 工艺的时间线 半导体堆的红外光谱：样品(白)，校准(有颜色的) MultiGas 6030能同时区分相似的分子 对应环境和工艺监控的特殊设计，2102傅利叶变换红外分光计是紧凑和粗糙的，能够在0.5cm-1的光谱决议上操作，是可用的处理FTIR方式中最快速，最灵敏和稳定的!另外，它能在在恶劣环境下操作，具有对高温，振动和温度变化的免 疫。更可贵的是，高速率的数据处理系统是标准的，为分析提供低噪音的红外光谱。 2102傅立叶变换红外分光计 这个分光计连接到一个小体积(200mL)多变换，有10米有效通道的取得专利权的气室，这个气室的专利设计结合了非球面的，非端正的镜子，它能为传统的多变换气室提供两倍光学吞吐量。做为选择，一个单变换的气室能用于很高浓度的高腐蚀或者强吸收率的气体，任何一种气室在环境温度到150℃之间操作。 5.11米光路，200毫升，长长道测量气室8-1/2”x2"x3-1/2”运用专利的非端正光学以达到最大的灵敏性 仪器的自主校准 MultiGas 的软件有多点校准图，能提供一个动态的范围至10-9的的数量级.许多核数的校准都由其提供，另外，用户也可以通过已知的浓度来进行校准。MultiGas 软件检验每个工具的性能的效用，使它能把一个已经在一台机器上校准的的值用于其他任何一台机器上，而且不用变更。 测试技术 傅利叶变换红外光谱 可测试气体或水蒸气 绝大多数分子除了氮气，氧气和氢气 范围 浓度从10ppb到100% 傅利叶变换红外 2102制成傅利叶变换红外 光谱分辨率 0.5-128cm-1 扫描速度 每秒5次在0.5cm-1 扫描时间 1-300秒 红外源 碳化硅在1200℃ 参考激光 氦氛(15798.2cm-1) 检测器 液氮冷却MCT或半导体制冷冷却MCT(汞-镉-化物) 清洁(Purge)压力 最大20PSI(1.5bar) 光谱室Purge流量 0.2升/分，干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳的 干燥空气 光学系统Purge流量 0.2升/分，，干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳的 干燥空气 压力传感器 MKS BaratronQ 电容式薄膜压力传感器 Purge连接 Swagelok@快速接头 电脑要求 台式或笔记本电脑带Intel奔腾@处理器，微软Wingdows@ XP操作系统，1024X768显示 通讯口 RJ-45交叉以太网 输出选件 XML，模拟， AK， 其他 尺寸 445mm宽X318mm高X648mm深 安装 可安装于19英寸标准机柜 电源 110V或220V， 50/60hz， 3A 重量 50公斤 分析仪采样参数 采样温度 室温至200℃(取决于校准温度)采样速流 0.2-10升/分采样压力 0.01-4大气压(取决于校准压力) 分析仪气体室 检测极限 5.11米气室， MCT检测器在0.5cm-1分辨率下，下列典型气体最低检测数据为： 名称 分子式 20/20TM气室，5分钟检测时间下的检测值 20/20TM气室，1秒钟检测时间下的检测值 氨气 NH， 30ppb 0.5ppm 二氧化碳 CO， 12ppb 0.2ppm 一氧化碳 CO 72ppb 1.2ppm 甲醛 H，CO 36ppb 0.6ppm 氯化氢 HC1 87ppb 1.5ppm 甲烷 CH 36ppb 0.6ppm 二氧化氮 NO， 24ppb 0.4ppm 氧化氮 NO 210ppb 3.6ppm 氧化二氮 N2O 30ppb 0.5ppm 四氟化硅 SiF 10ppb 0.15ppm 二氧化硫 SO， 36ppb 0.6ppm 四氟化碳 CF4 2.5ppb 40ppb 二甲苯磺 CH10 60ppb 1.0ppm 规格分析仪主机 测试技术             傅利叶变换红外光谱可测试气体或水蒸气  绝大多数分子除了氮气，氧气和氢气范围                浓度从10ppb到99%傅利叶变换红外      2102制成傅利叶变换红外光谱分辨率           0.5 - 128cm-1扫描速度             每秒5次在0.5cm-1扫描时间             1 – 300秒红外源               碳化硅在1200℃参考激光             氦氖（15798.2cm-1）检测器               液氮冷却MCT或半导体制冷冷却MCT（汞-镉-碲化物）清洁(Purge)压力      20PSI(1.5bar)光谱室Purge流量     0.2升/分，干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳的  干燥空气光学系统Purge流量   0.2升/分，干燥氮气或露点在-70℃以下无二氧化碳的  干燥空气压力传感器          MKS BaratronÒ 电容式薄膜压力传感器Purge连接           SwagelokÒ 快速接头电脑要求            台式或笔记本电脑带Intel奔腾Ò处理器,微软WingdowsÒ   XP操作系统，      1024 X 768显示通讯口              RJ-45交叉以太网输出选件            XML，模拟，AK，其他尺寸                445mm宽 X 318mm高 X 648mm深安装                可安装于19英寸标准机柜电源                110V或220V，50/60hz，3A分析仪采样参数 采样温度            室温至200℃（取决于校准温度）采样速流            0.2 – 10升/分采样压力            0.01 – 4大气压（取决于校准压力） 结构                镀镍铝，或316不锈钢焊接选件接头                SwagelokÒ或VCRÒ 采样压力            1 个大气压（取决于校准压力）管道                加热不锈钢镜                  铝衬底镍板，镀金窗口                KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可选)“O”型密封圈         VitonÒ，(其他可选)检测极限5.11米气室，MCT检测器在0.5cm-1分辨率下，下列典型气体检出限数据为：名称 分子式 20/20Ô气室，5分钟检测时间下的检测值20/20Ô气室，1秒钟检测时间下的检测值氨气 NH3 30ppb 0.5ppm 二氧化碳 CO2 12ppb 0.2ppm 一氧化碳 CO 72ppb 1.2ppm 甲醛 H2CO 36ppb 0.6ppm 氯化氢 HCl 87ppb 1.5ppm 甲烷 CH4 36ppb 0.6ppm 二氧化氮 NO2 24ppb 0.4ppm 氧化氮 NO 210ppb 3.6ppm 氧化二氮 N2O 30ppb 0.5ppm 四氟化硅 SiF4 10ppb 0.15ppm 二氧化硫 SO2 36ppb 0.6ppm 四氟化碳 CF4 2.5ppb 40ppb 二甲苯磺 C8H10 60ppb 1.0ppm