锥束C-T系统中工业C-T断层扫描检测方案(激光干涉仪)

QuantumDesign www.qd-china.com CHINA 皮米精度激光干涉仪 Real-Time Displacement Sensor for Machine Integration For Scientist By Scientist 德国attocube公司的皮米精度激光干涉仪充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要，其紧凑的设计和稳定的性能可以在极端环境中使用，在极大的位移测量范围内，达到1 pm 的位移分辨率和高达 10 MHz 的采样速率，应用范围遍及闭环扫描器校准，样品或模块位移，精密加工业，精密制造等等域。 激光探头 IDS3010 皮米精度激光干涉仪 主要技术参数 测量精度高，分辨率高达 1pm 高达1MHz 的测量速度 提供最大5m 的工作距离 体积小巧 (55X52X195mm)，便于集成 古 丰富的通讯接口，支持多种通讯协议 配置环境补偿单元ECU 功能丰富的软件 Wave 650nm 的准直激光，便于快速准直 Quantum Design 中国子公司 CHINA 应用案例 IDS 激光干涉仪检测纳米精度位移台 IDS3010组建同步辐射高精度X射线显微镜(STXM) 国内外部分客户 C 清华大学，北京大学，复旦大学，中国科技大学，南京大学，哈尔滨工业大学 中科院(物理所、半导体所、上海应用物理研究所、苏州纳米所、武汉数学物理研究所)... V19-1 工业C-T断层扫描被广泛用于材料测试和工件尺寸表征。设计一个精确的锥束C-T系统的挑战之一是它的几何测量系统。最近，瑞士联邦计量院（METAS）的科学家将德国attocube公司的IDS3010皮米精度激光干涉仪用于X射线源、样品和探测器之间的精密位移跟踪。实验共有八个轴用于位移跟踪。除了测量位移之外，该实验装置还能够实现样品台的角度误差分析。最终实现了非线性度小于0.1μm，锥束稳定性在一小时内优于10ppb的高精度工业C-T。参考文献：Benjamin A. Bircher, Felix Meli, Alain Küng, Rudolf Thalmann: "A geometry measurement system for a dimensional cone beam CT", 8th Conference on Industrial Computed Tomography (iCT 2018), At Wels, AU