扫描荧光X射线显微镜中激光干涉仪检测方案(激光干涉仪)

QuantumDesign www.qd-china.com CHINA 皮米精度激光干涉仪 Real-Time Displacement Sensor for Machine Integration For Scientist By Scientist 德国attocube公司的皮米精度激光干涉仪充分满足高分辨位移于定位的工业和科研需要，其紧凑的设计和稳定的性能可以在极端环境中使用，在极大的位移测量范围内，达到1 pm 的位移分辨率和高达 10 MHz 的采样速率，应用范围遍及闭环扫描器校准，样品或模块位移，精密加工业，精密制造等等域。 激光探头 IDS3010 皮米精度激光干涉仪 主要技术参数 测量精度高，分辨率高达 1pm 高达1MHz 的测量速度 提供最大5m 的工作距离 体积小巧 (55X52X195mm)，便于集成 古 丰富的通讯接口，支持多种通讯协议 配置环境补偿单元ECU 功能丰富的软件 Wave 650nm 的准直激光，便于快速准直 Quantum Design 中国子公司 CHINA 应用案例 IDS 激光干涉仪检测纳米精度位移台 IDS3010组建同步辐射高精度X射线显微镜(STXM) 国内外部分客户 C 清华大学，北京大学，复旦大学，中国科技大学，南京大学，哈尔滨工业大学 中科院(物理所、半导体所、上海应用物理研究所、苏州纳米所、武汉数学物理研究所)... V19-1 在搭建具有纳米分辨率的X射线显微镜时，对于系统稳定性的要求提出了更高的要求。在整个过程中实验过程中，必须确保各个组件以及组件之间的热稳定性和机械稳定性。德国attocube的IDS3010激光干涉仪具有优异的稳定性和测量亚纳米位移的能力，表现出优异的性能。IDS3010在40小时内具有优于1.25nm的稳定性，并且在100赫兹带宽的受控环境中具有优于300pm的分辨率。因此，IDS3010是对所述X射线显微镜装置中使用的所有部件进行机械控制的不二选择，使得整个X射线显微镜实现了40nm的分辨率，而在数据收集所需的整个时间内系统稳定性优于45nm。参考文献：Characterizing a scanning fluorescence X ray microscope made with the displacement sensor