ESS 氦质谱检漏仪中仪器性能检测方案(气相色谱仪)

令東南科儀Sinoinstrument Co.，Ltd. Reactorr-v 真空过程监控的质谱系统'東南科儀 ESS 氦质谱检漏仪在真空验证中的应用 氦质谱检漏仪定义是用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气作为惰性气体，不会腐蚀设备，且在容器环境和质谱环境中干扰较少，信号较纯，因而常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有检漏仪(即调整到仅对氦气反应的工作状态的气体分析仪)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。 氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。以西格玛旗下的 SAFC Hitech 子公司为例 Epichem (Epichem Limited，特殊气体分部)要求 ESS 设计并建造了一套检测系统，用于泵压、烘烤、真空检漏、正压泄漏检测以及有机金属起泡剂的制备气认证。 起泡器(过去常用于向半导体工业提供有机金属)是一些体积较小的金属罐，配置有进出阀。由于具有高真空超洁净的特点，因此起泡器在填充前要求相当的洁净。同时，由于起泡器内填充的是氧气，避免泄漏发生爆炸也至关重要。 针对此应用， ESS开发出了一种特殊的双进样端口的质谱系统，它具有一个经校准的正压泄漏测试模块，还具有一个自动化的高真空测试模块。 首先，将起泡器放置于平台上。使用氦气填充至一定压力，所有的接头都使用正压泄漏检测装置“嗅辨”一下。任何检测到的泄漏记录与起泡器序列号一一对应，发生任何超过用户设置的最大允许结果泄漏的起泡器都会被拒绝放行。 然后将起泡器安装10个一排的装置上，该装置配有无油前级泵和涡轮分子泵。在软件完全控制下，外部管线抽真空并保持状态，然后操作者使用外喷雾检查所有接头时， 质谱系统可以监测任何氦泄漏。 若通过泄漏测试，将起泡器抽真空、烘烤。测试结束时，质谱系统会自动分析起泡器和接头管线中的气体。为保证测试结果，所有起泡器中的水，氧和溶剂的浓度必须低于 1 ppm。测试结束时，会提醒操作人员，并显示测试结果是通过还是拒绝，所有测试数据将会被记录，便于溯源。 令東南科儀Sinoinstrument Co.，Ltd. 广州：020-66618088 北京：010-62268660上海 ：0 21 -5 25 86771 成都：028-61375660 杭州：0571-88068711 ( 西安■成都■天津!■山东■武汉■重庆■南京■厦门■深圳 ■ 珠海中山■香港 网址： w w w.sinoinstrument.com 邮箱： dongnan@sinoinstrument.com ) 监测组分 检测限 丙酮 (Acetone) 0.5ppm 乙醇 (Ethanol) 0.5ppm 氦气 (Helium) 0.5ppm 氮气 (Nitrogen) 0.5ppm 氧气 (Oxygen) 0.5ppm 三氯乙烯(Trichloroethylene) 0.5ppm 水 (Water) 0.5ppm 推荐： ESS REACTORR 系列质谱仪 Reactorr-s质谱仪 与 ReacTorr-V 具有相同的硬件平台 地空间小，节省洁净室操作空间 配备专用软件，用于半导体检测 可用于解决客户故障，优化半导体应用，节省时间和金钱。 東南科儀 400-113-3003 Sinoinstrument Co.，Ltd. 广州：020-66618088 北京：010-62268660上海 ：02 1- 52 586 771 专用于监测真空处理，如真空加热处理，太阳能电池板制程等配备全自动进样端口，可不中断或不干预式监测整个过程 可以直接与真空腔室耦合连接 英国 ESS产品 ESS 公司是世界一流的高质量质谱系统制造商，开发了一系列气体分析应用，和制造了气体分析专用的 ms 监测系统。 ESS 产品型号众多，分别针对各种应用。我们提供适合各种应用的不同进样系统以及特定型号一直在持续开发新品以满足新的应用，敬请关注。 令東南科儀 Sinoinstrument Co.，Ltd. 广州：020-66618088 北京：010-62268660 上海：021-52586771 成都：028-61375660 杭州：0571-88068711 西安■成都■天津!■山东■武汉■重庆■南京■厦门■深圳■珠海中山■11香港网址： www.sinoinstrument.com 邮箱： dongnan@sinoinstrument.com 氦质谱检漏仪定义是用氦气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气作为惰性气体，不会腐蚀设备，且在容器环境和质谱环境中干扰较少，信号较纯，因而常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有检漏仪（即调整到仅对氦气反应的工作状态的气体分析仪）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。以西格玛旗下的 SAFC Hitech 子公司为例Epichem (Epichem Limited,特殊气体分部) 要求 ESS 设计并建造了一套检测系统, 用于泵压、烘烤、真空检漏、正压泄漏检测以及有机金属起泡剂的制备气认证。起泡器 (过去常用于向半导体工业提供有机金属) 是一些体积较小的金属罐，配置有进出阀。由于具有高真空超洁净的特点，因此起泡器在填充前要求相当的洁净。同时，由于起泡器内填充的是氧气，避免泄漏发生爆炸也至关重要。针对此应用，ESS 开发出了一种特殊的双进样端口的质谱系统，它具有一个经校准的正压泄漏测试模块，还具有一个自动化的高真空测试模块。首先，将起泡器放置于平台上。使用氦气填充至一定压力，所有的接头都使用正压泄漏检测装置“嗅辨”一下。任何检测到的泄漏记录与起泡器序列号一一对应，发生任何超过用户设置的zui大允许结果泄漏的起泡器都会被拒绝放行。然后将起泡器安装 10 个一排的装置上，该装置配有无油前级泵和涡轮分子泵。在软件完全控制下，外部管线抽真空并保持状态，然后操作者使用外喷雾检查所有接头时， 质谱系统可以监测任何氦泄漏。若通过泄漏测试，将起泡器抽真空、烘烤。测试结束时，质谱系统会自动分析起泡器和接头管线中的气体。为保证测试结果，所有起泡器中的水，氧和溶剂的浓度必须低于 1 ppm。测试结束时，会提醒操作人员，并显示测试结果是通过还是拒绝，所有测试数据将会被记录，便于溯源。监测组分检测限丙酮(Acetone)0.5ppm乙醇(Ethanol)0.5ppm氦气(Helium)0.5ppm氮气(Nitrogen)0.5ppm氧气(Oxygen)0.5ppm三氯乙烯(Trichloroethylene)0.5ppm水(Water)0.5ppm推荐：ESS REACTORR 系列质谱仪Reactorr-s 质谱仪与 ReacTorr-V 具有相同的硬件平台占地空间小，节省洁净室操作空间配备专用软件，用于半导体检测可用于解决客户故障，优化半导体应用，节省时间和金钱。Reactorr-v 真空过程监控的质谱系统  专用于监测真空处理，如真空加热处理，太阳能电池板制程等配备全自动进样端口，可不中断或不干预式监测整个过程可以直接与真空腔室耦合连接英国 ESS 产品ESS 公司是世界一流的高质量质谱系统制造商，开发了一系列气体分析应用，和制造了气体分析专用的 ms 监测系统。ESS 产品型号众多，分别针对各种应用。我们提供适合各种应用的不同进样系统以及特定型号，一直在持续开发新品以满足新的应用，敬请关注。