金属试样中夹杂、污染物或金属氧化物检测方案(扫描电镜)

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检测样品: 其他
检测项目: 含量分析
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发布时间: 2017-09-06
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泰思肯(中国)有限公司

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虽然绝大部分金属试样并没有特征拉曼谱峰,但这并不意味着拉曼对金属的分析就毫无用处。相反,金属中的一些夹杂、污染物或者金属氧化物往往具备特征的拉曼信号。所以拉曼光谱在这个领域的分析也会起着特殊的作用。

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泰思肯(中国)有限公司上海市闵行区联航路1688弄旭辉国际28号楼1层电话 +86-21-64398570 传真 +86-21-64806110邮箱: market@tescanchina.comTESCAN 中国官网 www.tescan-china.com 应用解决方案 TESCAN 应用技术文档 Application documents by TESCAN CHINA 分析测试解决方案 Complete solution for analysis and testing 无机材料之金属夹杂分析 应用解决方案 无机材料之金属夹杂分析 虽然绝大部分金属试样并没有特征拉曼谱峰,但这并不意味着拉曼对金属的分析就毫无用处。相反,金属中的一些夹杂、污染物或者金属氧化物往往具备特征的拉曼信号。所以拉曼光谱在这个领域的分析也会起着特殊的作用。如下图,试样为不锈钢的裂纹区,在低倍下进行 EDS面扫描分析,发现了有 Si 元素的富集区域。 Performance In Nanospace 对 Si 富集区进行放大后进行 EDS 的元素分布和点扫分析,发现Si富集区域的 EDS含量结果除了显示 Si占主要外,还有少量的C、O、Fe 等。 此外,分析区域处在裂纹中,位置比周围略低,所以存在X射线的阴影区域,对元素含量分析的准确度也是大打折扣。所以仅仅根据EDS 的分析结果,我们很难分析出有价值的信息。而且对EDS 本身结果的不准确性,我们还要给出诸多解释说明。我们无法知道 Si 在其中究竟是以何种方式存在,是单质还是化合物,其他元素如C、O、Fe也不知道究竟以何种化合方式存在。 而在 RISE 系统上可以在 Si 富集区进行过 SEM-EDS分析后,再转移到拉曼光谱下,我们可以轻易的根据 SEM 图像或者 SEM 与 EDS Mapping 的混合图像找到各个感兴区 应用解决方案 域,进行拉曼光谱的点分析。由于拉曼光谱光路垂直与试样表面,因此不存在阴影区,就是处于凹坑或者裂缝内部,依然可以进行光谱的检测。 在Si富集区域的拉曼光谱显示出在784cm-1处有特征峰,该峰对应的是 O-Si-O键的伸缩振动,而单晶硅的特征峰520.7cm-1却未出现,可见EDS分析到的只有 Si 的集区域,其实是以氧化硅的形式存在。另外其他富含Fe、O元素的区域,在拉曼光谱中 发现存在680cm-1和591cm-1的特征峰,其中680cm-1对应的是三聚氰胺和Fe304,显然这个样品不会存在三聚氰胺,而另一种形态的 Fe2O3 对应的特征为255cm-1却没有出现,因此 Fe、O以Fe304的形式存在。此外,对于C富集区域,发现了非常宽的1352cm-1和1568cm-1的峰,由此确定其中的石的石墨化衬度较低,大部分以非晶碳的形式存在。另外,还检测到784 cm-1 和1449cm-1的峰,分别对应了-CH3的摇摆振动和-CH3的弯曲振动,由此可以推断样品表面存在一定有机污染。 由此可见,即使在金属基材料中,以往被 EDS 所忽视或者难以解释的问题,在RISE系统下都可以通过原位的拉曼光谱数据,将试样分析的更加透彻! 7TTESCAN PERFORMANCE IN NANOSPACE 更多信息请访问 TESCAN官网www.tescan.com TESCAN 中国官方微信 Performance In Nanospace第页,共页TESCAN CHINA, Ltd.版 第页,共页TESCAN CHINA, Ltd. 如下图,试样为不锈钢的裂纹区,在低倍下进行EDS面扫描分析,发现了有Si元素的富集区域。对Si富集区进行放大后进行EDS的元素分布和点扫分析,发现Si富集区域的EDS含量结果除了显示Si占主要外,还有少量的C、O、Fe等。此外,分析区域处在裂纹中,位置比周围略低,所以存在X射线的阴影区域,对元素含量分析的准确度也是大打折扣。所以仅仅根据EDS的分析结果,我们很难分析出有价值的信息。而且对EDS本身结果的不准确性,我们还要给出诸多解释说明。我们无法知道Si在其中究竟是以何种方式存在,是单质还是化合物,其他元素如C、O、Fe也不知道究竟以何种化合方式存在。而在RISE系统上可以在Si富集区进行过SEM-EDS分析后,再转移到拉曼光谱下,我们可以轻易的根据SEM图像或者SEM与EDS Mapping的混合图像找到各个感兴区域,进行拉曼光谱的点分析。由于拉曼光谱光路垂直与试样表面,因此不存在阴影区,就是处于凹坑或者裂缝内部,依然可以进行光谱的检测。
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泰思肯(中国)有限公司为您提供《金属试样中夹杂、污染物或金属氧化物检测方案(扫描电镜)》,该方案主要用于其他中含量分析检测,参考标准--,《金属试样中夹杂、污染物或金属氧化物检测方案(扫描电镜)》用到的仪器有TESCAN RISE电镜拉曼一体化显微镜