有机电致发光显示器件（OLED）中结构特征及缺陷控制检测方案(电镜制样)

Application Techcomp天美 日立离子研磨仪IM4000 在 OLED)领域的应用 传统的 TFT-LCD制造过程中，主要的工艺过程分为三部分： ARRAY(阵列)工程、CELL(成盒)工程和 MOUDLE(模组)工程，其中 ARRAY 生产中的缺陷的控制尤为重要，使用日立的离子研磨仪 IM4000 的截面加工效果优异，独特的离子束汇聚的离子枪设计及样品摆动设计，可以实现对 ARRAY 低损伤和大范围的加工，可以快速实现宽达1mm区域的截面观察。 TFT-LCD的分层结构 天美(中国)科学仪器有限公司 北京市朝阳区天畅园7号楼(100107) t010-64010651 010-64060202 techcomp@techcomp.cn w www.techcomp.cn OLED ( Organic Light Emitting Diode)：有机电致发光显示器件。OLED 显示技术具有自发光的特性，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板，当有电流通过时，这些有机材料就会发光。 OLED 器件的基本结构 OLED 显示技术不同于传统的平板显示器 LCD 具有自主发光，色彩好，对比度高，超薄，耗电量小，响应速度快，适用温度范围广等特点。多层 OLED 器件结构主要分为五层：阳极、空穴层、发光层、电子层、阴极。 OLED 器件的发光原理 OLED 的诸多特点最终会取代 LCD 成为未来最主要的显示技术，不过，在中小尺寸市场 ， OLED 替代LCD 会比较快，但是在大尺寸领域 ， OLED 要想替代 LCD 仍然需要时间。尽管柔性 OLED 很有价值，但是仍有不少技术问题仍待解决。柔性 OLED 工 Techcomp天美 艺尚未成熟，许多开发柔性OLED 产品的公司都有合格率不高的问题。其中尺寸稳定性成为塑胶基板柔性 OLED 屏制作中的最大挑战。尺寸变化过大使得光罩对位变得极为困难，也限制了晶体管设计的大小，同时容易在有机与无机材料层界面间产生内应力，导致在弯曲时造成层与层间的剥离，这使得生产大尺寸柔性 OLED 面板时的良品率极低，这就使得目前柔性 OLED 的成本还较高，大范围使用仍有一定的困难。 OLED 的驱动层和有机层结构复杂 OLED 目前处于研发初期，大量样品需要切割，结构特征及缺陷控制很重要，所以日立离子研磨仪 IM4000 加工效率高，低损伤具有很大优势。 多层OLED器件结构较为复杂，在有机与无机材料层界面间容易产生内应力，导致在弯曲时造成层与层间的剥离，这使得生产大尺寸柔性OLED面板时的良品率极低，日立的离子研磨仪IM4000的截面加工效果优异，独特的离子束汇聚离子枪设计及样品摆动设计，加工效率高，低损伤的特点，实现对OLED截面观察有效的监控产品的合格率。