材料中表面气孔细节检测方案(扫描电镜)

Application 日立推出全新大气压显微镜 AeroSurf 1500 2016年，日立推出全新桌面型大气扫描电子显微镜 AeroSurf 1500， 它可以很方便的观察湿度大的样品，如软材料和生物样品等。对于传统扫描电镜来说，湿度大的样品必必经过干燥才能观察，在干燥的过程中，样品容易发生形变。利用冷冻传输附件来观察湿度大的样品可以解决这个问题，但这种附件价格昂贵，并且操作的过程也需要很多技巧。而如果使用AeroSurf 1500 ， 就可不用对样品进行前处理，直接在大气环境下观察。 Fig. 1 Atomospheric & Negative Pressure Mode Fig.2Low Vacuum Mode 日立 AeroSurf 1500内部结构示意图 样品设置在大气压环境的样品仓，和 SEM 内部靠隔膜隔开， SEM 内部的真空得到保持的同时，用电子束对样品进行扫描并观察。而且由于仪器附带真空泵，可以在较低真空度(约10-4~10-5Pa)进行观察。此时隔膜取出，进行低真空 SEM 观察、EDX分析。 天美(中国)科学仪器有限公司 样品：菠菜；大气压下室温观察；15kV 对于上图中的菠菜样品，可以利用大气压显微镜观察样品表面的气孔细节，并且由于室温大气压观察，样品在观察前后无形变。 样品：大肠杆菌；大气压下室温观察；15kV 如上图中大肠杆菌样品，利用大气压显微镜在室温大气压下观察样品，可以实时观察大肠杆菌的分布。 2016年，日立推出全新桌面型大气扫描电子显微镜AeroSurf 1500，它突破以往扫描电镜对样品仓真空度的限制，可以在室温大气压下直接观察湿度大的样品。