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高纯砷烷、磷烷中杂质分析检测方案(气相色谱仪)

检测样品：半导体材料

检测项目：杂质分析

浏览次数： 469

发布时间： 2016-10-09

关联设备： 1种查看全部

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爱尔兰AGC仪器有限公司北京代表处

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本文主要介绍配置DID氦离子化检测器、样品管道采取负压方式进样分析磷烷的原理及方法，一次进样同时检测出高纯磷烷中的微量杂质H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、SiH4、AsH3。并验证方法的可行性。

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本文主要介绍配置DID氦离子化检测器、样品管道采取负压方式进样分析磷烷的原理及方法，一次进样同时检测出高纯磷烷中的微量杂质H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、SiH4、AsH3。并验证方法的可行性。详情见附件

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