金相样品中表面形态检测方案(扫描电镜)

PHENOM(CHINA 飞纳桌面型扫描电镜 Phenom XL 在金属行业(领域)的应用 飞纳桌面型扫描电镜 Phenom XL 为 Phenom-World 于2015年6月发布的产品。XL 样品仓尺寸与可视范围均为100*100*60mm*，预留36个钉式样品台插口。可以选配二次电子探头与能谱探头。各项性能优异，自推出以来迅速得到市场认可。桌面型扫描电镜又称台式扫描电镜，是一款可以放在桌面上的扫描电镜，外形类似台式电脑。 下面以金属行业(领域)为例，结合飞纳桌面式扫描电镜 Phenom XL 在不同工作模式下的优势，讲述其应用。桌面式电镜操作简单，维护方便。 金相样品背散射成像分析 背散射探头成像可以显示出材料的成分衬度，但背散射探头属于被动信号采集，所以背散射成像对灯丝亮度有着极高的要求。只有在灯丝亮度足够高的情况下才能获取良好的背散射成像照片。图1为金相样品的背散射成像。沿着箭头方向从内到外可以看到4种不同的成分衬度，且分界线非常明显。代表这4个位置元素含量各不相同，并且沿着箭头方向，重元素占比越来越低。 ( Pheno m Chi na·复纳科学仪器(上海)有限公司·飞纳 中国 ) ( 上海 浦东新区 张江高科技园区 科苑路88号 德国中心E座501-503室 ) ( 热线 400-857-8882 www.phenom-china.comservice@phenom-china.com ) PHENOMCCHINA 图1.金相样品背散射成像 二、金相样品能谱分析 得益于良好的灯丝亮度，超薄氮化硅窗口，大面积能谱活性面积，飞纳电镜Phenom XL 在能谱中有着出色表现。通过能谱面扫可以获取材料元素的分布情况，如图2所示。可以通过能谱线扫获得线上的元素分布情况，如图3所示。 PhenomChina·复纳科学仪器(上海)有限公司-·飞纳中国 ( 上海 浦东新区 张江高科技园区 科苑路88号 德国中心E座501-503室 ) ( 热线 400-857-8882 www.phenom-china.comservice@phenom-china.com ) PHENOM(CHINA 图2.金相样品能谱面扫结果 图3.金相样品能谱面扫结果 三、断口成像分析 在断口分析中，背散射成像与二次电子成像各有优势。背散射成像可以看到不同的成分衬度，且背散射成像对具有陡直的高度差的位置有着良好的成像显示。二次电子对于起伏的细节信息更有优势。结合种探头，可以为材料端口分析提供更多信息。 ( Pheno m Chi na·复纳科学仪器(上海)有限公司 l- ·飞纳 中国 ) ( 上海 浦东新区 张江高科技园区 科苑路88号 德国中心E座501-503室 ) ( 热线 400-857-8882 www.phenom-china.comservice@phenom-china.com ) PHENOM(CHINA PhenomChina.复纳科学仪器(上海)有限公司l--飞纳中国 ( 上海 浦东新区 张江高科技园区 科苑路88号 德国中心E座501-503室 ) ( 热线 400-857-8882 www.phenom-china.comservice@phenom-china.com ) 飞纳桌面型扫描电镜 Phenom XL 为 Phenom-World  于 2015 年 6 月发布的产品。XL 样品仓尺寸与可视范围均为 100*100*60mm*，预留 36 个钉式样品台插口。可以选配二次电子探头与能谱探头。各项性能优异，自推出以来迅速得到市场认可。桌面型扫描电镜又称台式扫描电镜，是一款可以放在桌面上的扫描电镜，外形类似台式电脑。