生长中的多层膜中薄膜生长原位检测方案(X射线部件)

解决方案：薄膜生长原位监测掠入射小角散射(GISAXS)系统 图1. 原位薄膜GISAXS系统 图2. 双离子束溅射示意图 此套解决方案，主要用于实时监测薄膜生长以优化沉积过程。薄膜生长的原位GISAXS测量目前主要通过同步辐射实现。本系统与客户的双离子束溅射装置完美匹配，在普通实验室就可进行相关测量，灵活性极高。 核心部件 光源：Incoatec的IμS，Cu 靶Kα辐射， 探测器：Dectris混合像素单光子计数二维X射线探测器Pilatus 200K。 无散射针孔，beamstop 其中，专用于小角散射的IμS微焦源，发散角小，亮度高；且可被灵活准确的移动/转动，这对准确调整掠入射角度非常重要。 结果展示：曝光时间仅为8s 图3（a）. GISAXS原位测量的薄膜倒晶格空间 图3（b）.临界角处qy的时间演变 小结： 全球首套实验室级实时监测薄膜生长的掠入射小角散射(GISAXS)系统。曝光时间仅为8s，入射角调到与临界角接近，可以达到实时沉积的亚单层灵敏度。 薄膜生长原位监测掠入射小角散射(GISAXS)系统图1. 原位薄膜GISAXS系统图2. 双离子束溅射示意图 此套解决方案，主要用于实时监测薄膜生长以优化沉积过程。薄膜生长的原位GISAXS测量目前主要通过同步辐射实现。本系统与客户的双离子束溅射装置完美匹配，在普通实验室就可进行相关测量，灵活性极高。 核心部件光源：Incoatec的IμS，Cu 靶Kα辐射，探测器：Dectris混合像素单光子计数二维X射线探测器Pilatus 200K。无散射针孔，beamstop其中，专用于小角散射的IμS微焦源，发散角小，亮度高；且可被灵活准确的移动/转动，这对准确调整掠入射角度非常重要。 结果展示：曝光时间仅为8s图3（a）. GISAXS原位测量的薄膜倒晶格空间图3（b）.临界角处qy的时间演变  小结：全球首套实验室级实时监测薄膜生长的掠入射小角散射(GISAXS)系统。曝光时间仅为8s，入射角调到与临界角接近，可以达到实时沉积的亚单层灵敏度。