薄膜测量

薄膜测量 薄膜测量系统 参数指标： 光谱范围 200~1100nm 测量速度 2 ms minimum  膜厚范围 10 nm~200 μm  基底厚度 up to 50mm thick  分辨率 1nm 测量精度 better than 0.25%  半导体产线 反射率及膜厚分析 典型应用领域：  Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半导体制造  Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶显示器  Forensics, Biological films and materials 医学、生物薄膜或材料  Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨，矿物学，颜料，碳粉  Pharmaceuticals, Medial Devices 制药  Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光学薄膜  Semiconductor compounds 半导体化合物  Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料  Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅 AvaSoft-Thinfilm应用系统可以搭配多种应用系统附件，例如光纤多路复用器、显微镜、过真空装置等附件，实现多点位同时测量、微区测量、过程监控等复杂领域的应用。 例如：AvaSoft-Thinfilm应用系统能够实时监控膜层厚度，并且可以与其他AvaSoft应用软件如XLS输出到Excel软件和过程监控软件一起使用。 多点位测量 微区测量显微镜 实时原位测量 薄膜测量系统是专门针对半导体、材料、生物医学薄膜的实验室分析及在线监测开发的，用于测量薄膜反射率及膜层厚度的综合测量系统。 该系统基于白光反射及干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。可以通过对白光干涉图样进行数学运算来计算出薄膜厚度。对于单层膜来说，如果已知薄膜的n和k值就可以计算出它的物理厚度。 AvaSoft-Thinfilm软件内有一个包含大部分常用材料和膜层的n值和k值的数据库。TFProbe多层膜测量软件可以测量多达5层膜的厚度和光学常数（n、k值），实现实时或在线膜厚和折射率监控。