“HexAuFoil”金属网中孔径大小检测方案(物理气相沉积)

MOORFIELDQuantumDesignCHINA NANOTECHNOLOGY 台式高性能多功能PVD薄膜制备系列一nanoPVD nanoPVD-S10A磁控溅射系统 nanoPVD S10A最多可安装3个水冷式溅射源，、，可实现高功率持续运行。系统可以实现两源共溅射方案，可以实现反应溅射方案，最多可同时控制3路气体。系统具有分子泵，可快速达到5*10 mbar高真空。腔体取放样品非常方便，样品台最大尺寸8英寸，系统有智能化的触屏控制系统，采用完备的安全设计方案。 设备优势 可实现生长气压的高精度自动控制。 ● 精准的条件控制和可靠的工艺重现性。 ● 安全性设计，具有安全锁功能。 ● 智能化设计，全自动引导式触屏操作系统。 ● 支持自动程序的设定与储存。 ● 多种配置可选。 System SettingsDoor interlock setpoint (mbar)： 100 DC PSU max.(%)： 50Gas stabilisation time (s)： 15 RFPSU max. (%)： 50Inter-layer time delay (s)： 3 Pressure control period (10 ms)：1MFC1max. flow rate (sccm)： 50.0 PressureP /I/D： 130 / 398 / 141MFC2 max. flow rate (sccm)： 50.0 Heater P/1/D： 144 / 372 / 180MFC3 max. flow rate (sccm)： Vent time (S)： 500MFC vent：DefaultBackOperator layer start： Settings 智能的触屏控制系统 系统简介 该系列产品是为高水平学术研究研发的小型物理气相沉积设备。推出之后短短几年时间已经在欧洲销售了数十台，该系列产品包含了磁控测射、金属/有机物热蒸发系统。这些设备虽然体积小巧，但是性能卓越，能够快速实现高质量纳米薄膜、异质结的制备，通常在大型设备中才有的共溅射和反应溅射功能也可以在该系列产品上实现。精准的有机物沉积系统更是该系列的一大特色。便捷的操作、智能的控制、高效的制备效率让您的学术研究进入快车道。 nanoPVD-T15A金属\有机物热蒸发系统 nanoPVD T15A 系统可以配备低温蒸发(LTE)和标准电阻蒸发源，分别用于沉积有机物和金属薄膜。低热容有机物蒸发源具有高精度的控制电源，可以精准的控制蒸发条件制备高质量的有机物薄膜。金属源采用盒式屏蔽模式，，可以有效的减少交叉污染等问题。智能的控制系统和灵活的配置方案使PVD-T15A非常合合应用于材料研究领域。 图1：生长在si 片上的“hexaufoil”金属网阵列（图片由分子生物学mrc实验室的neil grant提供）图2：a冷冻电镜在观测时样品的位置移动，b、c不同角度，不同孔径对位移的影响，d水膜曲率变化导致样品位移的示意图。e孔径比的临界值（孔的直径/水膜厚度）图3：利用“hexaufoil”金属网的冷冻电镜观测结果Moorfield薄膜生长设备的用户英国剑桥大学christopher j. russo教授研究组利用高质量的薄膜生长与加工技术制备了用于冷冻电镜样品制备的“hexaufoil”金属网，该金属网使得冷冻电镜观察生物大分子样品时样品的位置漂移小于1埃米，进一步提高了冷冻电镜的成像质量，该结果刊登在2020年10月的science杂志上。“hexaufoil”金属网制备过程中的关键环节就是采用moorfield提供的高精度电子束蒸发技术以及液氮冷却的低温样品台，使得au膜当中的粒径更小，在极大缩小金属网圆孔直径的情况下仍保证了金属网孔的圆度和质量。Moorfield Nanotechnology是英国材料科学领域高性能仪器研发公司，成立26年来专注于高质量的薄膜生长与加工技术，拥有雄厚的技术实力，推出的多种高性能设备受到科研与工业领域的广泛好评。moorfield公司近十年来与曼彻斯特大学诺奖技术团队紧密合作，推出的台式高精度薄膜制备与加工系列产品由于其体积小巧、性能卓越、易于操作更是受到很多科研单位的赞誉。moorfield nanotechnology推出的大型系列设备具有更大的配置自由度，可以满足各种用户的特殊功能需求，并且接受设备的特殊定制化设计。