扫描电子显微镜(SEM)是依靠电子束与样品相互作用产生俄歇电子、特征 X 射线和连续谱 X 射线、背散射电子等信号,对样品进行分析研究。
扫描电镜在表征样品时,受诸多参数的影响,不同类型样品应选用合适的参数,才能呈现出样品更真实的表面信息。如在不同的加速电压下,电子束与样品作用所获得的信号会有很大的差别。从理论上说,入射电子在样品中的散射轨迹可用 Monte Carlo 的方法模拟(如图 1 所示),并且推导得到入射电子最大穿透深度 Zmax。
PHENOMSCIENTIFIC飞 纳 电 镜 如何呈现扫描电镜样品表面的II-'真实形貌" 发布者:飞纳电镜 扫描电子显微镜(SEM)是依靠电子束与样品相互作用产生俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子等信号,对样品进行分析研究。 扫描电镜在表征样品时,受诸多参数的影响,不同类型样品应选用合适的参数,才能呈现出样品更真实的表面信息。如在不同的加速电压下,电子束与样品作用所获得的信号会有很大的差别。从理论上说,入射电子在样品中的散射轨迹可用 Monte Carlo 的方法模拟(如图1所示),并且推导得到入射电子最大穿透深度 Zmax。 Zmax=0.0019(A/Z)1.63Eo1.71/p 图1电子在钛(Ti)金属中的运动轨迹 随着加速电压的增加,入射电子激发深度越深,探头接受的信号包含大量材料内部的信息。 图2 对比图2背散射电镜(BSD)图片可以看出同一样品位置在不同加速电压下,样品表面成分衬度、形貌发生了明显的变化。 1、2区域在 5kv 成像时,样品表面有白色衬度相,在 15kv 成像时表面主要为灰色衬度相+少量白色衬度像。 对此样品1区域成分分析结果如图3所示,白色衬度相主要由Zr 组成,灰色衬度相主要由O、Si、Mg、AI组成。 由此看以看出,15kv 成像时,高能电子束穿透了表面含 Zr 层,呈现出了下部的主要由O、Si、Mg、Al组成相。在 5kv 成像时,电子束未穿透表面含 Zr层,呈现出更接近于真实的样品表面的成分衬度相。 3区域在 5kv 下表面细节清晰有立体感, 15kv 下由于电子穿透深,表面细节丢失且无立体感。因此对于此类样品,低电压下对于表面形貌的呈现更真实。 图 3 在使用扫描电镜时,可以尝试不同的加速电压、真空度等参数,你会发现随着参数的调节,样品表面形貌会发生(微小或者巨大)变化,找到适合自己样品的参数,才能拍摄出“更真实”的 SEM 图片。 扫描电子显微镜(SEM)是依靠电子束与样品相互作用产生俄歇电子、特征X 射线和连续谱X 射线、背散射电子等信号,对样品进行分析研究。扫描电镜在表征样品时,受诸多参数的影响,不同类型样品应选用合适的参数,才能呈现出样品更真实的表面信息。如在不同的加速电压下,电子束与样品作用所获得的信号会有很大的差别。从理论上说,入射电子在样品中的散射轨迹可用 Monte Carlo 的方法模拟(如图1 所示),并且推导得到入射电子最大穿透深度 Zmax。Zmax=0.0019(A / Z)1.63E01.71/ρ图1 电子在钛(Ti)金属中的运动轨迹
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复纳科学仪器(上海)有限公司为您提供《不同样品中在不同加速电压下表面形貌检测方案(扫描电镜)》,该方案主要用于其他中在不同加速电压下表面形貌检测,参考标准--,《不同样品中在不同加速电压下表面形貌检测方案(扫描电镜)》用到的仪器有