纳米颗粒、石墨烯中三维表面形貌，深度轮廓，表面粗糙度测量检测方案(扫描探针)

NenoVision应用说明 、 原位SEM/AFM表征由石墨烯-金银纳米粒子制成的混合结构用于生物传感 金纳米颗粒和石墨烯面纱的组合是 制造活性基底的新方法 适用于表面增强拉曼光谱 (SERS)。 石墨烯可以用作针孔钝化层，其防止等离子体纳米结构氧化。 Au颗粒和石墨烯之间的接触水平在SERS的敏感性中起重要作用[1]。 因此，了解石墨烯的方式很重要，膜遮蔽单个纳米颗粒或这种纳米颗粒的簇。 纳米粒子在石墨烯膜下的分布使用CPEM - Correlative Probe和 Electron Microscopy TM可以很容易地确定表面形貌。 100nm CPEM结合了SPM和SEM技术，是纳米世界成像的革 命性表征方法。 这种新颖的方法使得有可能获得同一区域和同一协调系统中的同一区域的高 分辨率图像(SPM和SEM)。 虽然LiteScopeTMSPM (AFM) 可以在石墨 烯层的表面上成像纳米粒子， SEM可以在 石墨烯层下成像纳米粒子，该层对电子束 接近透明。 图1提供了这两个图像的比较，在此期间获得了关于特定纳米颗粒上的石墨烯膜的形状的即时信 息。 CPEM能够清楚地确定颗粒的数量 成簇并区分石墨烯膜是否仅由颗粒支撑 或者它是否缠绕在颗粒周围(图2)。 图1：通过在Au纳米颗粒顶部上的石墨烯膜的3D可视化补充的SEM和SPM(AFM)图像。 SEM揭示了角切的结 果AFM显示颗粒的位置，显示石墨烯如何覆盖单个颗粒或他们的集群。 将来自胶体溶液的金纳米颗粒(直径40nm) 沉积在具有285nm厚的SiO，层的硅表面上。 随后，覆盖金纳米颗粒阵列通过化学气相沉积 (CVD) 生产的石墨烯[2]。在FE SEM (HV 15kV， SE检测器)中测量样品集成的AFM-LitescopeTM。 使用Akiyama探针 在AFM轻敲模式下进行表面研究。 摘要 AFM图像显示石墨烯不能完全包裹纳米颗粒。 这导致SERS效应降低。 成功地证明了CPEM是研究表面结构的独特方法。 此外，由于CPEM采用了LiteScopeTM和各 种SEM探测器的不同SPM模式的创新组 合， 它提供了多种类型的信息。 E它开辟了一个全新的相关成像领域以及许多特殊应用。 此外，直接扫描由SEM显示的表面区域使得导航和 冬2：单个纳米颗粒之间的石墨烯“幕”的SEM和AFM图像 和一个佳升 CPPM换同 [1]Xu， W.， Xiao， J.， Chen，Y.， Chen， Y.， Ling， X。， &Zhang，J.(2013)。用于表面增强拉曼光谱的石墨烯-金色基底。 Advanced Materials， 25(6)，928-933。 [2] Prochazka， P.， Mach， J.， Bischoff， D.， Liskova， Z.，Dvorak， P.， Vanatka， M.， ... Sikola， T. (2014)。用于通过化学气相沉积生长高质量石墨烯的超光滑金属箔。纳米技术，25(18)，185601。 一种新型的扫描探针显微镜（SPM）和扫描电子显微镜（SEM）关联成像系统简介LiteScope™是一种独特的扫描探针显微镜（SPM）。 它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜（SEM）中。 组合互补的SPM和SEM技术使其能够利用两者的优势。使用LiteScope™及其可更换探针系列，可以轻松进行复杂的样品分析，包括表面形貌，机械性能，电性能，化学成分，磁性能等的表征。相关探针和电子显微镜™（CPEM）结合了SPM和SEM技术。  CPEM可以同时在同一协调系统中同时获取同一区域的SPM和SEM图像。 结合SPM和SEM成像方法可以得到分析区域的更广泛的信息光谱，从而揭示两种图像中可能存在的等同性和不一致性。       工作原理将样品连接到压电扫描仪。 电子束焦点和SPM探针在CPEM图像采集期间仍然是。感兴趣的区域由压电扫描器逐点扫描并发出信号同时对SEM检测器和SPM探针进行采样，以便进行测量放在同一个协调系统中。 在SPM探针和该范围内的聚焦电子束之间存在恒定的探针/点偏移数百纳米。 如果减去这样的探针/点偏移，则SEM和SPM图像具有完美匹配和优异的相关性可以获取CPEM图像。CPEM技术的优点CPEM提供多维相关成像 - 来自扫描电子显微镜的图像被扩展为3D。使用CPEM，可以快速准确地区分SEM图像中的地形和材料对比度。CPEM以适当的方式将两个或多个SEM信号与测量的地形相关联，例如SE，BSE，EBIC等。CPEM可以在相同的条件下同时测量AFM和SEM试样条件，相同的测量速度等组合的AFM和SEM扫描系统可实现精确的图像相关，消除漂移和其他不准确性。