材料样品中表面形貌，机械性能，电性能等检测方案(扫描探针)

网址： www.kosterscience.com邮箱： kosterpub@163.com电话：020-38102730广州科适特科学仪器有限公司总代理GuangZhou 设计用于集成到扫描电子显微镜中的扫描探针显微镜，提供独特的相关探针和电子显微镜技术。 LiteScopeTM LiteScopeTM是一种独特的扫描探针显微镜 (SPM)。它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜(SEM)中。 组合互补的SPM和SEM技术使其能够利用两者的优势。 使用LiteScope TM及其可更换探针系列，可以轻松进行复杂的样品分析，包括表面形貌，机械性能，电性能，化学成分，磁性能等的表征。 LiteScopeTM的设计还使其可以与其他SEM配件结合使用聚焦离子束(FIB)或气体注入系统 特点 ( · LiteScopeTM可提高性能的SEM升级 ) ·可作为现有显微镜的插件或作为新的SEM使用 ( · 独特的相关探针和电子显微镜(CPEM)技术 ) ( · 复杂的表面表征 ) ( -形貌，粗糙度，磁性，导电性，电性能 ) ( · E 自感应探头，无需光学检测，无需激光调整 ) (GIS)用于制造纳米/微结构和表面改性。，在这种组合中， LiteScopeTM可对制造的结构进行快速简便的3D检测。 此外， LiteScopeTM开辟了一个全新的测量技术领域，或可实现相关显微镜，即所谓的相关探针和电子显微镜(CPEM)。 CPEM技术是市场上首创的技术。 它可以在同一个地方进行SPM和SEM测量，同时，使用相同的协调系统。 只有CPEM技术才能为您带来SPM和SEM技术相关成像的全部优势。 ( · LiteScopeTM易于安装到SEM的样品台上/从样 品台中取出 ) ( 。 兼容FIB， GIS， EDX等配件 ) 在倾斜位置(角度0°-60°)，最小工作距离5毫米 .·可伸缩的测量头可释放样品周围的空间·市售探针，种类繁多测量模式 ·快速简便地更换探头和样本 用户友好的软件，在网络浏览器中操作，轻松远程访问 LiteScopeTM也可作为独立的SPM吏用 更多...相关探针和电子显微镜 - CPEM LiteScope TM是现有SEM仪器工作方式的强大增强功能。 但是，还有更多的东西。 相关显微镜结合了使用两种不同技术对同一物体成像的好处。来自单独图像的数据的相关性提供了关于样本的更详细信息，否则这些信息将太复杂而无法分析。 NenoVision开发了独特的技术-相关探针和电子显微镜(专利申请中)-用于相关成像。CPEM能够通过SEM和SPM确定样品区域的表面特征同时使用相同的协调系统。 CPEM技术能够以迄今尚未获得的方式对标准SEM和SPM方法进行相关成像。CPEM同步扫描区域，分辨率和图像失真，并实时关联采集的SPM和SEM图像。 扫描电子显微镜 扫描探针显微镜 相关探针&电子显微镜 技术规格 LiteScope TM是一款完全可操作的SPM，可让 用户获得详细信息 纳米尺度样品的特征。 它可以用作独立的显微镜 或与电子束结合，这是它的最大优点。LiteScopeTM通常在高真空下操作，但可根据要求适用于超高真空。 LiteScopeTM连接到SEM /FIB显微镜的样品台，从而可以根据用户的喜好进行操作。 LiteScopeTM能够测量 在倾斜位置，例如用于与FIB技术同时使用。在这种情况下，用户将会欣赏对接选项，从而可以将整个SPM探针缩回并隐藏在LiteScope TM的主体中。 机械设计在刚性和适当的共振频率方面尊重所有基本结构要求。结果是高度稳定的机架，机械振动水平极低，可产生极其可靠的结果。 所有尺寸均以毫米(mm)为单位。 ·薄型和小尺寸可集成在SEM /FIB仪器中 ·易于集成的程序-安装在SEM/ FIB操纵器上 ·通用探头支架适用于多种SPM方法和简单的“即插即用”组装 ·样品倾斜高达60° ·优化的机械设计，具有极低的振动水平(刚性和适当的共振频率)，集成前置放大器(尽可能消除信号失真/噪声) LiteScopeTM数据 总重量 1公斤 真空工作范围 105Pa至10-5Pa 扫描范围X，Y，Z 100 pm x 100 pm x 100 pm 最大样本量 10毫米×10毫米 最大样本高度 8毫米 解析度 高达0.4纳米 KOSTER GuangZhou 控制单元 所有驱动LiteScope TM的电子产品都是集成在一个控制单元中。 .·每个扫描轴2×16位DAC(扫描范围，偏移)， 以实现整个视野的最大分辨率 该装置是标准的19“机架式安装座，可轻松放入SEM的自由槽中 ·6x16位辅助输入，用于同时测量用户信号(±10V) 电子产品或根据您的实际需求自由定位。 ·可选择在反馈环路混频器中使 用输入通道 特征 ·探头信号输出/监视器 ·外部探头激励 最大PLL频率75 kHz， 适用于基于音叉式探头的动态测量(根据要求-更高频率，使用外部PLL) 使用外部锁定/PLL的所有必要连接 以太网连接到LAN/ PC .·110 VAC或230 VAC操作，200W NenoView软件 NenoView软件用户友好，，可让您完全控制测量设置，数据采集和数据处理。 NenoView自动保存测量设置和数据；此功能对以后的分析非常有用。 ·用户帐户管理 -个人用户帐户 -可单独配置的帐户-布局，参数，复杂性.... 特征 .远程访问用户数据，从控制PC下载数据到本地计算机 ·基于Web的用户界面 ·远程实验控制，例如平板电脑，手机 ·易于新用户，专家灵活 ·综合数据后处理，分析，导出..... 成像模式和探头 LiteScopeTM提供并支持各种SPM成像模式和可用探头。最重要的技术设计特征是 LiteScope'M支持的方法和相关探针列表 通用探头支架，可以很容易地在“即插即用”的基础上安装不同的探头。 *压电电阻传感/有源(PRSA)探头 所有鉴定的探针都是市售的。 定制探针可与适当的探针支架一起使用，可根据要求进行设计。 LiteScopeTM专门设计用于在“即插即用”的基础上集成到SEM显微镜中。LiteScopeTM通过四个螺钉简单地连接到电子显微镜的样品台。E电缆插入准备好的真空穿通装置。 LiteScopeTM可在不到5分钟的时间内安装或拆卸。LiteScopeTM松以轻松集成到不同制造商的电子显微镜中。手我们提供适当的适配器和穿通装置，也可根据客户需求进行调整。 应用 LiteScopeTM有许多应用，从基础学术研究到工业中的故障分析。 主要应用与分析有关，特别是在传统SEM不能提供足够信息的情况下，使用SPM需要额外的3D成像。 其他或互补成像模式的可用性进一步拓宽了应用领域。 独特的CPEM技术及其相关成像技术可应用于要求苛刻的领域，使用常规SEM进行成像可能会因与化学对比度相关的表面污染而干扰表面形貌而提供误导信息。CPEM是实时准确分析和解释图像的理想解决方案。 材料科学和纳米技术领域的基础研究需要使用不同的分析方法对表面和纳米结构进行详细和全面的分析。这是基于充分理解原则的需要纳米级范围。 LiteScopeTM是这些科学应用的理想工具。 对于诸如FIB和GIS之类的技术而言，其直接优势是显而易见的，其中结构直接在SEM中形成。 新建结构的3D分析工具至关重要。 此外，配备CPEM和其他成像模式的LiteScopeTM可以对制备的结构和纳米器件进行复杂的分析 在工业质量控制和研发实验室中， LiteScopeTM有助于识别表面结构，地形，表面粗糙度，污染等。这些能力受到需要验证质量的工业客户的高度重视。表面，因此可以节省因故障造成的损失。 LiteScopeTM可应用于广泛的行业，包括那些领域的行业半导体，太阳能电池，存储器件， MEMS和NEMS。 这些领域比其他领域更需要纳米级分析。 如今，纳米电路和纳米器件的复杂分析要求越来越高。 LiteScope"M通过实时扩展样品的3D成像和多重表征来满足这些需求。 新型扫描探针显微镜（SPM）和扫描电子显微镜（SEM）关联成像系统简介LiteScope™是一种独特的扫描探针显微镜（SPM）。 它设计用于轻松集成到各种扫描电子显微镜（SEM）中。 组合互补的SPM和SEM技术使其能够利用两者的优势。使用LiteScope™及其可更换探针系列，可以轻松进行复杂的样品分析，包括表面形貌，机械性能，电性能，化学成分，磁性能等的表征。相关探针和电子显微镜™（CPEM）结合了SPM和SEM技术。  CPEM可以同时在同一协调系统中同时获取同一区域的SPM和SEM图像。 结合SPM和SEM成像方法可以得到分析区域的更广泛的信息光谱，从而揭示两种图像中可能存在的等同性和不一致性。工作原理将样品连接到压电扫描仪。 电子束焦点和SPM探针在CPEM图像采集期间仍然可以感兴趣的区域由压电扫描器逐点扫描并发出信号，同时对SEM检测器和SPM探针进行采样，以便进行测量放在同一个协调系统中。 在SPM前端和该范围内的聚焦电子束之间存在恒定的前端/点偏移数百纳米。 如果减去这样的前端/点偏移，则SEM和SPM图像具有完美匹配和优异的相关性，可以获取CPEM图像。CPEM技术的优点CPEM提供多维相关成像 - 来自扫描电子显微镜的图像被扩展为3D。使用CPEM，可以快速准确地区分SEM图像中的地形和材料对比度。CPEM以适当的方式将两个或多个SEM信号与测量的地形相关联，例如SE，BSE，EBIC等。CPEM可以在相同的条件下同时测量AFM和SEM试样条件，相同的测量速度等组合的AFM和SEM扫描系统可实现精确的图像相关，消除漂移和其他不准确性。