高纯氯化氢气体中主要成分纯度检测方案(气相色谱仪)

高纯氯化氢气体的纯度的检测：氦离子气相色谱法 高纯氯化氢气体是电子工业中用量较大的一种化学气体，电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀，清除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理，激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理、外延基座腐蚀及硬质合金制造。化学级氯化氢目前主要用于硅材料处理、医药中间体、农药、精细化学品制造业。 过去我国大多从美、日等国进口电子级氯化氢，但近年来，我国电子工业所需的化学气体的研制，在技术上已有不少突破。 随着微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展，氦离子气相色谱法现在成为一种常规的气体分析方法，它具有线性宽、灵敏度高等优点。本文使用氦离子色谱仪对氯化氢中的杂质进行检测分析，并建立一套最合适的应用分析方法，为氯化氢行业分析标准提供依据。 仪器准备 GC5890H氦离子气相色谱仪 (​http:​/​​/​www.kj17.com" \t "http:​/​​/​www.kj17.com​/​html​/​_blank​)（南京科捷分析仪器有限公司）。 分析条件 色谱柱 柱1：Porapak Q，柱炉控温；柱2：Hayesep Q，柱炉控温；柱3：5A分子筛，辅助控温。 检测器 150℃ 柱炉 50℃ 进样方式 阀进样 进样量 0.1mL 载气流量 He，30mL/min PDHID气相色谱流程示意图： 色谱图   H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、C2H2标准谱图 化学级HCl样品谱图   高纯氯化氢气体是电子工业中用量较大的一种化学气体，电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓高温气相刻蚀，清除钠离子。另外高纯氯化氢也用于金属表面化学处理，激光用混合气、胶片生产及碳纤维表面处理、外延基座腐蚀及硬质合金制造。化学级氯化氢目前主要用于硅材料处理、医药中间体、农药、精细化学品制造业。  过去我国大多从美、日等国进口电子级氯化氢，但近年来，我国电子工业所需的化学气体的研制，在技术上已有不少突破。随着微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展，氦离子气相色谱法现在成为一种常规的气体分析方法，它具有线性宽、灵敏度高等优点。本文使用氦离子色谱仪对氯化氢中的杂质进行检测分析，并建立一套最合适的应用分析方法，为氯化氢行业分析标准提供依据。  仪器准备  GC5890H氦离子气相色谱仪（南京科捷分析仪器有限公司）。  分析条件色谱柱柱1：Porapak Q，柱炉控温；柱2：Hayesep Q，柱炉控温；柱3：5A分子筛，辅助控温。检测器 150℃柱炉50℃进样方式阀进样进样量0.1mL载气流量He，30mL/min  PDHID气相色谱流程示意图：  色谱图 H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2、C2H2标准谱图化学级HCl样品谱图