日立电镜SU9000因内透镜的设计,成为目前分辨率最高的扫描电镜。本文通过几个例子展示了SU9000在不同成像模式下的高分辨观察功力。
天美Marketing天美(中国)科学仪器有限公司TECHCOMP (CHINA) LTD. 中国北京朝阳区天畅园7号楼1、3层 TEL:010-64010651 FAX:010-64060202 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn 世界最顶级扫描电镜的功力 日立 SU9000作为目前分辨率最高的扫描电镜,其功力非同一般,下面就让我们通过几个例子见识一下。 图1.阳极氧化铝的电镜图片 阳极氧化铝表面具有耐腐蚀和耐磨的性能,被广泛应用到家用器具和工业产品上。近来,有二维排列的孔道结构的氧化铝被用来作为生长纳米线的前驱体。从左边SE 图中可以看到孔道的随机分布,而从右边放大到50万倍的图像中可以测量出孔的直径大约为 20-30nm。 图2.ITO膜的电镜观察 作为透明导电膜而被大家广泛知晓的 ITO(Indium Tin Oxide), 主要运用与液晶显示屏和太阳能电池等行业。上图是用 Upper 探头和 Top 探头同时观察 ITO表面的例子。左图的 SE 图像(Upper 探中)中,可以看到表面的细微结构。另外,右图的 HABSE 图像 中国北京朝阳区天畅园7号楼1、3层 TEL:010-64010651 FAX:010-64060202 E-MAIL:techcomp@techcomp.cn (Top 探头)中,得到了通道效应鲜明的照片,就连只有数百 nm 的晶粒结构都一清二楚。 图 3.ITO膜的电镜观察(放大图) 图3是对前两张图进一步放大。从SE图像可观察到表面细节,并发现这些细微结构是有一定规律的形状和方向性的;而 HABSE的图像,可以发现一定量的细微结构聚集在一起形成一个晶粒。左图的 ITO膜形貌结构是比较常见的,但右图展示的效果在其它电镜中恐怕就无法看到了。 图4.金颗粒的明场和暗场电镜图片 正如大家所知,如果金属变成纳米级的大小,其物理性质会发生改变,颗粒的大小和分散倍受重视。其中的金不但被用于电子显微镜的样品染色、制作标准样品等方面,更是被广泛用于医药品、化妆品、食品以及涂料等领域。上图是分别用 Top 探头和 STEM探头对纳米金颗粒的观察结果。在左图的 HABSE 图像(Top探头)中,颗粒的直径约为30nm左右,而且同时通道效应也一目了然。另外,通过 BFSTEM 图像(STEM探头),可以得到清晰的衍射衬度效果。通过这点,可以判断出该金颗粒为多晶结构。
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