仪器种类： 磁控溅射镀膜机
产地类别： 国产
应用领域： 微电子学
基片尺寸： 最大8吋向下兼容
基片温度范围： RT800℃-1200℃
成膜厚度均匀性： ±2%
极限真空： 优于5×10^（-9）mbar（胶圈密封）
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产品货期: 240天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
安装调试时间: 到货后10天内
电话支持响应时间: 2小时内
是否提供维保合同: 是
维修响应时间: 1天内
节假日是否提供上门服务: 是
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