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Scaler HK430 热原子层沉积系统
1、优越的填孔能力以及良好的薄膜均匀性
Excellent gap-fill capacity and good film uniformity
2、独特的腔室结构设计，具备良好的防酸腐蚀能力
Unique chamber structure design, performance of the nice acid corrosion resistance
3、优化机台结构，缩小占地面积
Optimized system architecture with minimized foot print
4、友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效
User-friendly interface and security designed to ensure the system stability, safety and efficiency
技术参数
1、晶圆尺寸 12 英寸
2、适用材料 氧化铪、氧化锆、氧化铝
3、适用工艺 栅极介质层、介质层、钝化层
4、适用领域 科研、集成电路、先进封装
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
北方华创物理气相沉积Scaler HK430 的工作原理介绍
物理气相沉积Scaler HK430 的使用方法?
北方华创Scaler HK430 多少钱一台?
物理气相沉积Scaler HK430 可以检测什么？
物理气相沉积Scaler HK430 使用的注意事项？
北方华创Scaler HK430 的说明书有吗？
北方华创物理气相沉积Scaler HK430 的操作规程有吗？
北方华创物理气相沉积Scaler HK430 报价含票含运吗？
北方华创Scaler HK430 有现货吗？
